[發明專利]一種太陽能電池擴散用石英舟裝置

無效

• 申請號: 201210094441.3
• 申請日: 2012-04-01
• 公開（公告）號: CN102593266A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 劉志敏;王龍飛;錢小鋒
• 申請（專利權）人: 南京遠景新能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/673
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 王凌霄

技術領域

?本發明涉及一種太陽能裝置，尤其是涉及一種太陽能電池擴散用石英舟裝置。

背景技術

現有的太陽能電池擴散用石英舟有102個垂直槽，每個垂直槽放置2片硅片，工業生產采用2舟/次的方式使用，即其裝載量為：102×2×2=408片/次，硅片裝載量偏低，使單位硅片的制造成本偏高；而且由于現有擴散石英舟的硅片裝載量與PECVD石墨舟的裝載量不匹配，造成工業化生產中硅片流程混亂，往往在出現異常時不能快速有效地追蹤產品的處理設備，使得產品的優劣不能正確地反饋設備的運行狀況，加大了異常發生和處理時間，給公司造成較大的利潤損失。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是，提供一種結構簡單、成本低、并能快速推廣應用的太陽能電池擴散用石英舟裝置。

為了解決上述技術問題，本發明是通過以下技術方案實現的：一種太陽能電池擴散用石英舟裝置，包括由石英材料制成的載片體、頂桿、底桿以及腳桿，所述載片體有四根，與所述頂桿、底桿和腳桿合圍成矩形結構。

為了能夠固定硅片，進一步地，所述四根載片桿的等間隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽。

為了能夠提升擴散方塊電阻均勻性，進一步地，所述垂直槽由采用5°設計的上槽和下槽組成。

為了能夠提高石英舟的裝載量，進一步地，所述垂直槽的槽間距為4.41mm。

為了能夠提高石英舟的裝載量，再進一步地，所述垂直槽數量為110個。

為了便于石英舟裝卸料，更進一步地，所述頂桿為中空式的。

與現有技術相比，本發明的有益之處是：這種太陽能電池擴散用石英舟裝置實現了石英舟裝載量和PECVD石墨舟的匹配，徹底杜絕了硅片混亂，縮短了異常發生和處理時間，為公司減少了不必要利潤損失，并且降低了單位硅片的制造成本。

附圖說明：

下面結合附圖對本發明進一步說明。

圖1是本發明一種太陽能電池擴散用石英舟裝置截面示意圖；

圖2是圖1中A-A剖視圖。

圖中：1、載片桿；?2、頂桿；?3、底桿；?4、腳桿；?5、垂直槽；?51、上槽；?52、下槽。

具體實施方式：

下面結合附圖及具體實施方式對本發明進行詳細描述：

圖1所示一種太陽能電池擴散用石英舟裝置，包括由石英材料制成的載片體1、頂桿2、底桿3以及腳桿4，所述載片體1有四根，與所述頂桿2、底桿3和腳桿4合圍成矩形結構；為了能夠固定硅片，所述四根載片桿1的等間隔位置上刻有用于固定硅片的垂直槽5，所述垂直槽5由上槽51和下槽52組成，采用5°設計；并且該垂直槽5可以防止在運動中因硅片移位而造成碎片，也防止了因移位而造成擴散方塊電阻的不均勻性，使操作更為簡單、便捷；所述頂桿2采用中空設計，便于石英舟裝卸料操作；腳桿4使石英舟在送入石英管后處于支撐狀態，可起到防止污染的作用，同時有助于腳桿4下部氣體的循環，可進一步提高方塊電阻的均勻性。在基本不影響擴散方塊電阻的基礎上，將現有4.76mm的石英垂直槽間距優化到4.41mm；優化后石英舟有110個垂直槽5，其裝載量為：110×2×2=440片/次，但因熱場和氣流的影響，每個舟的頭尾位置方塊電阻波動較大，為此，通常在這四個位置放置假片來代替硅片，防止了對方塊電阻的影響（假片可重復利用），所以其裝載量為440-4×2=432片/次，與PECVD石墨舟的裝載量（216×2=432片）一致。

這種太陽能電池擴散用石英舟裝置實現了石英舟裝載量和PECVD石墨舟的匹配，徹底杜絕了硅片混亂，縮短了異常發生和處理時間，為公司減少了不必要利潤損失；在基本不影響擴散方塊電阻的基礎上，將石英垂直槽間距優化，石英舟的裝載量增大，降低了單位硅片的制造成本。

需要強調的是：以上僅是本發明的較佳實施例而已，并非對本發明作任何形式上的限制，凡是依據本發明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發明技術方案的范圍內。