[發(fā)明專利]太陽能電池基片的硒化與硫化反應(yīng)裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210094234.8 | 申請日： | 2012-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN103361628A | 公開（公告）日： | 2013-10-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 錢青;龔立光 | 申請（專利權(quán)）人： | 英萊新能（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/30 | 分類號： | C23C16/30;C23C16/44;C23C16/455;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京金信立方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225 | 代理人： | 劉鋒;王傳林 |
| 地址： | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 太陽能電池 硫化 反應(yīng) 裝置 | ||
1.一種太陽能電池基片的硒化與硫化反應(yīng)裝置，其特征在于，包括：
外腔體(10)，其設(shè)有用于基片(100)進(jìn)出的外腔體入口和外腔體出口，所述外腔體入口和外腔體出口上分別設(shè)有噴氣隔離裝置(11、12)；
位于所述外腔體(10)內(nèi)的反應(yīng)腔體(20)，其設(shè)有用于基片(100)進(jìn)出的反應(yīng)腔體入口和反應(yīng)腔體出口，所述反應(yīng)腔體入口和反應(yīng)腔體出口上分別設(shè)有噴氣隔離裝置(21、22)，所述反應(yīng)腔體(20)上設(shè)有硒蒸汽管(40)、硫蒸汽管(50)和排清氣體輸送管(60)；
置于所述反應(yīng)腔體(20)外的多個(gè)加熱器(23)；
包覆在所述反應(yīng)腔體(20)外的熱反射層(30)，所述加熱器(23)位于所述反應(yīng)腔體(20)和熱反射層(30)之間；以及
輸送基片(100)進(jìn)出所述反應(yīng)腔體(20)的輸送機(jī)(101)。
2.如權(quán)利要求1所述的太陽能電池基片的硒化與硫化反應(yīng)裝置，其特征在于，所述外腔體(10)上設(shè)置有抽氣口(13)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的太陽能電池基片的硒化與硫化反應(yīng)裝置，其特征在于，所述加熱器(23)為電阻加熱絲或紅外燈管。
4.如權(quán)利要求1或2所述的太陽能電池基片的硒化與硫化反應(yīng)裝置，其特征在于，所述反應(yīng)腔體(20)采用不銹鋼、碳鋼、鋁、石墨、石英玻璃和陶瓷的其中一種材料制成。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆，例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時(shí)基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機(jī)材料為特征的
