[發明專利]方塊電阻測量方法以及方塊電阻測量裝置

有效

• 申請號: 201210093709.1
• 申請日: 2012-03-31
• 公開（公告）號: CN102621390A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發明（設計）人: 韋敏俠;謝佳佳
• 申請（專利權）人: 上海宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: G01R27/08
• 分類號: G01R27/08
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

1.一種方塊電阻測量方法，其特征在于包括：

在方塊電阻的四邊中分別連接第一測試點、第二測試點、第三測試點以及第四測試點；

依次設定多個參考電流值；

針對所有參考電流值，通過將參考電流值設置為強制電流值來計算方塊電阻值，并且記錄所計算的方塊電阻值；

根據所記錄的所有方塊電阻值判斷適合作為強制電流值的參考電流值，并將所述參考電流值設置為最終的強制電流值。

2.根據權利要求1所述的方塊電阻測量方法，其特征在于，所述通過將參考電流值設置為強制電流值來計算方塊電阻值的步驟中計算方塊電阻值的方法包括：

在使流過第一測試點和第二測試點之間的電流大小為所設定的強制電流值的情況下，測量第三測試點和第四測試點之間的第一電壓值；

在使流過第二測試點和第三測試點之間的電流大小為所設定的強制電流值的情況下，測量第四測試點和第一測試點之間的第二電壓值；

在使流過第三測試點和第四測試點之間的電流大小為所設定的強制電流值的情況下，測量第一測試點和第二測試點之間的第三電壓值；

在使流過第四測試點和第一測試點之間的電流大小為所設定的強制電流值的情況下，測量第二測試點和第三測試點之間的第四電壓值；

利用下面的式子計算方塊電阻值：方塊電阻值＝4.5324×(第一電壓值+第二電壓值+第三電壓值+第四電壓值)/4/強制電流值。

3.根據權利要求1或2所述的方塊電阻測量方法，其特征在于，在每次測量方塊電阻值，取多個測量對象，并且根據每個測量對象的方塊電阻值繪制曲線，最后，根據方塊電阻值曲線的穩定性來選擇最終的強制電流值。

4.根據權利要求3所述的方塊電阻測量方法，其特征在于，將曲線波動范圍小的曲線設置為最終的強制電流值。

5.一種方塊電阻測量裝置，其特征在于包括：

與方塊電阻的四邊分別連接的第一測試點、第二測試點、第三測試點以及第四測試點；

參考電流值設置模塊，用于依次設定多個參考電流值；

方塊電阻值計算模塊，用于針對所有參考電流值，通過將參考電流值設置為強制電流值來計算方塊電阻值，并且記錄所計算的方塊電阻值；

強制電流值判斷模塊，用于根據所記錄的所有方塊電阻值判斷適合作為強制電流值的參考電流值，并將所述參考電流值設置為最終的強制電流值。

6.根據權利要求5所述的方塊電阻測量裝置，其特征在于，所述方塊電阻值計算模塊執行下述步驟：

在使流過第一測試點和第二測試點之間的電流大小為所設定的強制電流值的情況下，測量第三測試點和第四測試點之間的第一電壓值；

在使流過第二測試點和第三測試點之間的電流大小為所設定的強制電流值的情況下，測量第四測試點和第一測試點之間的第二電壓值；

在使流過第三測試點和第四測試點之間的電流大小為所設定的強制電流值的情況下，測量第一測試點和第二測試點之間的第三電壓值；

在使流過第四測試點和第一測試點之間的電流大小為所設定的強制電流值的情況下，測量第二測試點和第三測試點之間的第四電壓值；

利用下面的式子計算方塊電阻值：方塊電阻值＝4.5324×(第一電壓值+第二電壓值+第三電壓值+第四電壓值)/4/強制電流值。

7.根據權利要求5或6所述的方塊電阻測量裝置，其特征在于，所述方塊電阻值計算模塊在每次測量方塊電阻值時，取多個測量對象，并且根據每個測量對象的方塊電阻值繪制曲線，并且其中所述強制電流值判斷模塊根據方塊電阻值曲線的穩定性來選擇最終的強制電流值。

8.根據權利要求7所述的方塊電阻測量裝置，其特征在于，所述強制電流值判斷模塊將曲線波動范圍小的曲線設置為最終的強制電流值。