[發明專利]一種等離子反應器

有效

• 申請號: 201210093485.4
• 申請日: 2012-03-31
• 公開（公告）號: CN103369810A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 周旭升;梁潔
• 申請（專利權）人: 中微半導體設備（上海）有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;G05D23/19
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 王潔

1.一種等離子反應器，包括位于反應器底部的一個基座，處理基片放置在所述基座上，一個反應氣體供應裝置向反應器供應反應氣體，一個等離子發生裝置使反應氣體產生等離子體，所述基座內包括至少一熱交換管道，所述熱交換管道包括一個冷卻液入口和一個冷卻液出口，

一個冷卻器向所述熱交換管道供應具有設定溫度的冷卻液，其特征在于：

所述冷卻器包括一個第一溫度冷卻液容器和第二溫度冷卻液容器，

一個控制器使第一溫度冷卻液容器中的冷卻液具有第一溫度，使第二溫度冷卻液容器中的冷卻液具有第二溫度；

第一溫度冷卻液容器輸出口通過第一可控閥門輸出具有第一溫度的冷卻液到冷卻液混合室，第二溫度冷卻液容器輸出口通過第二可控閥門輸出具有第二溫度的冷卻液到冷卻液混合室，所述冷卻液混合室輸出混合后的冷卻液到所述熱交換管道的冷卻液入口；

一個冷卻液回收容器包括第一接口連接到所述熱交換管道的冷卻液出口，所述冷卻液回收容器還包括一個第二和三接口分別連接到第一溫度冷卻液容器和第二溫度冷卻液容器。

2.根據權利要求1所述的等離子反應器，其特征在于，所述第一溫度冷卻液容器輸出口與第一可控閥門之間包括一個泵。

3.根據權利要求1所述的等離子反應器，其特征在于，所述第一可控閥門包括一輸入端連接到第一溫度冷卻液容器的輸出口，還包括一個輸出端和一個回流端，所述輸出端輸出冷卻液到所述冷卻液混合室，所述回流端回流所述冷卻液到所述第一溫度冷卻液容器。

4.根據權利要求3所述的等離子反應器，其特征在于，所述可控閥門控制閥門的開度使流入可控閥門輸入端的冷卻液按比例流到輸出端和回流端。

5.根據權利要求1所述的等離子反應器，其特征在于，所述冷卻液回收容器位于所述第一、第二溫度冷卻液容器上方。

6.根據權利要求1所述的等離子反應器，其特征在于，所述控制器驅動一個溫度控制裝置維持所述第一溫度和第二溫度，所述溫度控制裝置選自壓縮制冷機和加熱器。

7.根據權利要求1所述的等離子反應器，其特征在于所述控制器控制所述第一和第二可控閥的開度，使所述冷卻液混合室輸出的溫度在所述第一溫度和第二溫度之間。

8.根據權利要求1所述的等離子反應器，其特征在于，所述第一溫度和第二溫度相差大于30℃。

9.根據權利要求8所述的等離子反應器，其特征在于，所述第一溫度大于40℃，第二溫度小于0℃。

10.根據權利要求1所述的等離子反應器，其特征在于，所述熱交換管道具有第二冷卻液入口和第二冷卻液出口；

所述第一溫度冷卻液容器輸出口通過第三可控閥門輸出具有第一溫度的冷卻液到一個第二冷卻液到混合室，

所述第二溫度冷卻液容器輸出口通過第四可控閥門輸出具有第二溫度的冷卻液到第二冷卻液混合室，

所述第二冷卻液混合室輸出混合后的冷卻液到熱交換管道的第二冷卻液入口，

所述熱交換管道的第二冷卻液出口連接到所述冷卻液回收容器。