[發明專利]分光模塊

有效

• 申請號: 201210091508.8
• 申請日: 2008-06-10
• 公開（公告）號: CN102628711A
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發明（設計）人: 柴山勝己;能野隆文;鈴木智史;H·泰希曼;D·希勒;U·施塔克
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01J3/18
• 分類號: G01J3/18;G01J3/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

本申請是申請日為2008年06月10日、申請號為200880000512.0、發明名稱為分光模塊的專利申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及對光進行分光并進行檢測的分光模塊。

背景技術

現有的分光模塊，已知有一種分光模塊，其具備雙凸透鏡，即塊狀的支撐體，并且在支撐體的一個凸面上設有衍射光柵等的分光部，在支撐體另一個凸面側上，設有光電二極管等的光檢測元件(例如，參照專利文獻1)。在這種分光模塊中，從另一凸面側入射的光在分光部被分光，分光后的光在光檢測元件被檢測。

專利文獻1：日本特開平第4-294223號公報

發明內容

然而，上述的分光模塊中，當將入射狹縫部及二極管安裝于支撐體時，入射狹縫部和二極管的相對的位置關系發生偏移，分光模塊的可靠性有可能下降。

因此，本發明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于，提供一種可靠性高的分光模塊。

為了達到上述目的，本發明的分光模塊的特征在于，具備：使從一個面入射的光透過的基板、設在基板的另一個面上并使入射于基板的光透過的透鏡部、形成于透鏡部并對入射于透鏡部的光進行分光的分光部、以及設在一個面上并檢測被分光部分光后的光的光檢測元件，分光部具有衍射部、反射部、以及與衍射部一體地形成的緣部；在緣部以與一個面和另一個面中的至少一個面大致平行的方式形成有設有對準標記的平面。

該分光模塊中，通過對預先對準并安裝有光檢測元件的基板安裝預先形成有分光部的透鏡部，從而進行光檢測元件和衍射部的對準，由于在與衍射部一體地形成的緣部的平面形成對準標記，因而在將透鏡部安裝于基板上時，通過相對于基板對該對準標記進行對位，或者相對于光檢測元件直接進行對位，從而能夠相對于光檢測元件正確地對準衍射部，不受例如透鏡部的曲率半徑的誤差等的影響。尤其是，由于對準標記形成于與基板的面大致平行的平面，因而能夠通過圖像識別來正確地檢測該對準標記的位置，于是能夠進行正確的對準。所以，依照該分光模塊，能夠提高可靠性。

本發明的分光模塊中，優選對準標記與衍射部一體地形成。這種情況下，能夠提高對準標記和衍射部的位置精度，于是，能夠相對于光檢測元件進一步正確地對準衍射部。

本發明的分光模塊中，優選對準標記以夾著衍射部的方式，沿著該衍射部的溝槽的排列方向至少形成一對。這種情況下，通過進行對準標記的對位，能夠正確地進行衍射部的溝槽的排列方向的對位，于是，能夠使被分光部分光后的光切實地朝向光檢測元件。

本發明的分光模塊中，優選光檢測元件具有使向分光部行進的光通過的光通過孔。這種情況下，在組裝時，由于能夠省略對準光檢測元件和光通過孔的步驟，因而能夠容易地進行組裝作業。

依照本發明，能夠提高可靠性。

附圖說明

圖1是本發明的實施方式的分光模塊的平面圖。

圖2是沿著圖1所示的II-II線的截面圖。

圖3是顯示透鏡部的立體圖。

圖4是顯示透鏡部的頂部和分光部的放大截面圖。

圖5是從基板的后面側看分光部的放大圖。

圖6是設在分光部的周緣部的對準標記的放大圖。

圖7是用于說明在透鏡部形成分光部的制造工藝的圖。

圖8是用于說明在基板安裝透鏡部的工藝的圖。

符號說明

1：分光模塊；2：基板；2a：前面(一個面)；2b：后面(另一個面)；3：分光部；4：光檢測元件；4b：光通過孔；7：透鏡部；8：衍射層(衍射部)；11：周緣部(緣部)；11a：平面；12a、12b、12c、12d：對準標記。

具體實施方式

以下，參照附圖，詳細地說明本發明的優選實施方式。另外，在各圖中，對于同一或相當的部分賦予相同的符號，省略重復的說明。

如圖1、2所示，分光模塊1具備：使從前面(一個面)2a入射的光透過的基板2、設在基板2的后面(另一個面)2b上的透鏡部7、形成于透鏡部7并對入射于透鏡部7的光L1進行分光的分光部3、以及檢測被分光部3分光后的光L2的光檢測元件4。分光模塊1通過在分光部3將光L1分光為多個光L2，并在光檢測元件4檢測光L2，從而測量光L1的波長分布和特定波長成分的強度等。

基板2由BK7、派熱克斯(注冊商標)、石英等的光透過性玻璃、光透過性樹脂等形成為長方形板狀。