[發明專利]壓電振動器、振蕩器、電子設備及電波鐘

無效

• 申請號: 201210089759.2
• 申請日: 2012-03-22
• 公開（公告）號: CN102694521A
• 公開（公告）日: 2012-09-26
• 發明（設計）人: 船曳陽一
• 申請（專利權）人: 精工電子有限公司
• 主分類號: H03H9/10
• 分類號: H03H9/10;H03H9/13;H03H9/15;G04C9/02
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 何欣亭;王忠忠

技術領域

本發明涉及壓電振動器、振蕩器、電子設備及電波鐘。

背景技術

近年來，在便攜電話、便攜信息終端設備中，使用利用了水晶等的壓電振動器作為時刻源、控制信號等的定時源、參考信號源等。

該壓電振動器具備互相接合的基底基板及蓋(蓋子)基板，以及密封于在兩基板之間形成的空腔(空洞部)C內的壓電振動片。

壓電振動片例如是音叉型的振動片，在空腔C內裝配于基底基板的上表面。

基底基板及蓋基板由玻璃基板形成。

在基底基板與形成于振動片的1對電極對應地形成沿其厚度方向貫通的1對通孔(貫通孔)。在該1對通孔內以堵塞該通孔的方式埋入導電部件并形成貫通電極。

貫通電極與在基底基板的外表面(下表面)形成的外部電極電連接，并且與裝配于空腔C內的壓電振動片電連接。

而且，在現有的壓電振動器中，如專利文獻1所公開的那樣，使用模具在玻璃封裝件(package)形成1對圓筒形的通孔，通過在兩通孔填充銀膏而形成貫通電極。

另外，也提出有以下的方法：在玻璃封裝件中，形成截面形狀為圓錐形狀的1對通孔，在各通孔配置金屬銷(貫通電極)，進而在通孔內填充低熔點玻璃。

專利文獻1：日本特開2002-124845號公報

發明內容

然而，使玻璃封裝件小型化時，難以配置多個通孔。這是因為近距離地形成一對通孔時，在兩通孔間有玻璃基板產生缺口之虞。因此，在如以往那樣對玻璃基板形成一對通孔的構成中，難以滿足耐久性并且使壓電振動器小型化。

因此，本發明的目的在于，提供滿足耐久性并且能小型化的壓電振動器。

在本申請發明中，提供一種壓電振動器，其特征在于，具備：基底基板，其由玻璃材料構成；蓋基板，其與所述基底基板接合；空腔用的凹部，其形成于所述蓋基板及所述基底基板的至少一個；1個通孔，其形成于所述基底基板；一對貫通電極，其配設于所述通孔內；密封玻璃，其保持所述一對貫通電極，并且密封所述通孔；壓電振動片，其形成一對電極，使該一對電極和所述一對貫通電極電連接，并以收納于所述空腔的狀態裝配于所述基底基板；以及一對外部電極，其在所述基底基板的下表面與所述一對貫通電極分別電連接。

依據本申請的發明，對基底基板形成1個通孔，在該通孔內配置一對貫通電極。因此，與設置2個通孔的情況相比時，能夠使壓電振動器小型化。

附圖說明

圖1是本發明的壓電振動器的概略構成圖。

圖2是本發明的壓電振動器的內部構成圖。

圖3是沿著圖2所示的A-A線的壓電振動器的截面圖。

圖4是本發明的壓電振動器的概略構成圖。

圖5是本發明中的壓電振動片的俯視圖。

圖6是本發明中的壓電振動片的仰視圖。

圖7是圖5所示的截面向視B-B圖。

圖8是說明本發明的壓電振動器的制造工序的流程圖。

圖9是示出本發明的壓電振動器的工序的圖。

圖10是示出本發明的壓電振動器的制造工序的圖。

圖11是示出本發明的壓電振動器的制造工序的圖。

圖12是示出本發明的壓電振動器的制造工序的圖。

圖13是示出本發明的壓電振動器的制造工序的圖。

圖14是本發明中的基底基板用圓片(wafer)的整體圖。

圖15是示出本發明的壓電振動器的制造工序的圖。

圖16是示出本發明的壓電振動器的制造工序的圖。

圖17是本發明的振蕩器的概略構成圖。

圖18是本發明的電子設備的概略構成圖。

圖19是本發明的電波鐘的概略構成圖。

標號說明

1壓電振動器；2基底基板；3蓋基板；4壓電振動片；6a玻璃料(低熔點玻璃)；6密封玻璃；7貫通電極；8基座板；90金屬銷；9封裝件；30通孔；35接合膜；36、37迂回電極(內部電極)；37b??迂回電極(外部電極)；40基底基板用圓片(基底基板)；50蓋基板用圓片(蓋基板)；70電極底座部；100振蕩器；101振蕩器的集成電路；110便攜信息設備(電子設備)；113電子設備的計時部；130電波鐘；131電波鐘的濾波部；321形成模；322凸部；C??空腔；L接合寬度。

具體實施方式

(1)實施方式的概要

首先，制作基底基板用圓片40和蓋基板用圓片50。這些圓片由鈉鈣玻璃形成。