[發(fā)明專利]一種白光干涉方法及其實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210089118.7
• 申請(qǐng)日: 2012-03-30
• 公開（公告）號(hào): CN102608770A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖倩;洪廣偉;賈波;林鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 復(fù)旦大學(xué)
• 主分類號(hào): G02B27/28
• 分類號(hào): G02B27/28;G02B6/255;G02B6/27
• 代理公司: 上海正旦專利代理有限公司 31200
• 代理人: 陸飛;盛志范

1.一種白光干涉方法，其特征在于具體步驟為：使用光纖偏振分束器替代原有Levin干涉系統(tǒng)中的2×2耦合器；同時(shí)，使用法拉第旋轉(zhuǎn)器，使返回偏振分束器的光僅從偏振分束器的一個(gè)分波端口輸出，使得到達(dá)探測(cè)器的光沒有非相干光束，從而消除使用耦合器時(shí)存在的非相干光束，提高干涉條紋的對(duì)比度。

2.一種白光干涉系統(tǒng)，其特征在于，包括光源，第一光電探測(cè)器，第二光電探測(cè)器，光纖耦合器，偏振分束器，光纖法拉第旋轉(zhuǎn)反射鏡，準(zhǔn)直器和待測(cè)自由面；其中，光纖耦合器有兩個(gè)端口即第一端口、第二端口，偏振分束器有兩個(gè)分波端口即第三端口、第四端口；

系統(tǒng)的光路是：光源發(fā)出的光經(jīng)過光纖耦合器分光后，第一端口分出的光從第三端口經(jīng)過偏振分束器再通過光纖法拉第旋轉(zhuǎn)反射鏡到達(dá)準(zhǔn)直器，入射到被測(cè)靶面，經(jīng)過被測(cè)靶面反射后，被準(zhǔn)直器接收，光波重新經(jīng)過偏振分束器分光后，第四端口的光經(jīng)過延遲線從第二端口最終進(jìn)入光纖耦合器形成順時(shí)針方向的相干光，光的路線依次經(jīng)過：光源、光纖耦合器、第一端口、第三端口、偏振分束器、光纖法拉第旋轉(zhuǎn)反射鏡、準(zhǔn)直器、被測(cè)靶面、準(zhǔn)直器、偏振分束器、第四端口、延時(shí)光纖、第二端口、光纖耦合器；

另一路相干經(jīng)過光纖耦合器分光后，先由第二端口通過延時(shí)光纖再?gòu)牡谒亩丝谶M(jìn)入偏振分束器，接著經(jīng)過光纖法拉第旋轉(zhuǎn)反射鏡到達(dá)準(zhǔn)直器，入射到被測(cè)靶面，經(jīng)過被測(cè)靶面反射后，被準(zhǔn)直器接收，光波重新經(jīng)過偏振分束器分光后，第三端口的光從第一端口最終進(jìn)入光纖耦合器形成逆時(shí)針方向的相干光，光的路線為：光源、光纖耦合器、第二端口、延時(shí)光纖、第四端口、偏振分束器、光纖法拉第旋轉(zhuǎn)反射鏡、準(zhǔn)直器、被測(cè)靶面、準(zhǔn)直器、偏振分束器、第三端口、第一端口、光纖耦合器；

兩束光在光纖耦合器形成干涉，輸出干涉信號(hào)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的白光干涉系統(tǒng)，其特征在于，偏振分束器的合波端C的尾纖，法拉第旋轉(zhuǎn)器的輸入、輸出尾纖，準(zhǔn)直器的尾纖，以及它們之間的連接光纖，采用偏振保持光纖。