[發(fā)明專利]微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專用測(cè)量夾具

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210089039.6
• 申請(qǐng)日: 2012-03-29
• 公開（公告）號(hào): CN102645560A
• 公開（公告）日: 2012-08-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭越;劉中生;劉雯蕊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京大華無線電儀器廠
• 主分類號(hào): G01R1/04
• 分類號(hào): G01R1/04
• 代理公司: 北京凱特來知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11260
• 代理人: 鄭立明;趙鎮(zhèn)勇

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀附件，尤其涉及一種微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專用測(cè)量夾具。

背景技術(shù)

目前，雖然可以通過測(cè)量半導(dǎo)體材料表面電導(dǎo)率激光照射前后微波阻抗的變化，測(cè)得材料的少數(shù)載流子壽命。但是，由于沒有一種專用的夾具，導(dǎo)致整個(gè)測(cè)試裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜、使用不方便。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、使用方便的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專用測(cè)量夾具。

本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

本發(fā)明的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專用測(cè)量夾具，包括一段90°的彎波導(dǎo)，所述彎波導(dǎo)的一端為微波反射計(jì)連接端，另一端為開口端，所述開口端設(shè)有被測(cè)材料的測(cè)試參考面，所述測(cè)試參考面設(shè)有抗流槽；

所述彎波導(dǎo)拐彎處的壁上設(shè)有小孔，所述小孔裝有激光發(fā)射器，所述激光發(fā)射器的發(fā)射方向指向所述彎波導(dǎo)的開口端。

由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明提供的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專用測(cè)量夾具，由于包括一段90°的彎波導(dǎo)，彎波導(dǎo)的一端為微波反射計(jì)連接端，另一端為開口端，開口端設(shè)有被測(cè)材料的測(cè)試參考面，測(cè)試參考面設(shè)有抗流槽；彎波導(dǎo)拐彎處的壁上設(shè)有小孔，小孔裝有激光發(fā)射器，激光發(fā)射器的發(fā)射方向指向彎波導(dǎo)的開口端。可以通過測(cè)量半導(dǎo)體材料表面電導(dǎo)率激光照射前后微波阻抗的變化，測(cè)得材料的少數(shù)載流子壽命，結(jié)構(gòu)簡單、使用方便。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專用測(cè)量夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例中專用測(cè)量夾具的應(yīng)用連接結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、90°的彎波導(dǎo)，2、測(cè)試參考面，3、抗流槽，4、微波反射計(jì)連接端，5、小孔，6、激光發(fā)射器。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。

本發(fā)明的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專用測(cè)量夾具，其較佳的具體實(shí)施方式是：

包括一段90°的彎波導(dǎo)，所述彎波導(dǎo)的一端為微波反射計(jì)連接端，另一端為開口端，所述開口端設(shè)有被測(cè)材料的測(cè)試參考面，所述測(cè)試參考面設(shè)有抗流槽；

所述彎波導(dǎo)拐彎處的壁上設(shè)有小孔，所述小孔裝有激光發(fā)射器，所述激光發(fā)射器的發(fā)射方向指向所述彎波導(dǎo)的開口端。

所述激光發(fā)射器的發(fā)射中心線與所述彎波導(dǎo)的開口端的中心軸線重合。

所述小孔構(gòu)成一段截止圓波導(dǎo)。

所述90°的彎波導(dǎo)可以為E面彎波導(dǎo)或H面彎波導(dǎo)。

所述微波反射計(jì)包括微波源，所述微波源通過定向器件與所述彎波導(dǎo)連接。所述定向器件的輸出端通過檢波器可以與示波器和/或計(jì)算機(jī)連接。

本發(fā)明的微波少數(shù)載流子壽命測(cè)試儀專用測(cè)量夾具，以波導(dǎo)開口端為測(cè)試參考面，可以通過測(cè)量半導(dǎo)體材料表面電導(dǎo)率激光照射前后微波阻抗的變化，測(cè)得材料的少數(shù)載流子壽命。

具體實(shí)施例：

如圖1所示，測(cè)量夾具是一段90°的彎波導(dǎo)(E面彎或H面彎波導(dǎo))，一端接微波反射計(jì)，一端為帶有抗流槽的開口端，被測(cè)材料置于開口端(即測(cè)試參考面)。抗流槽保證被測(cè)材料表面與測(cè)試端面良好的電接觸。

在正對(duì)測(cè)試端波導(dǎo)內(nèi)拐彎處內(nèi)壁的小孔中，裝有激光發(fā)射器，實(shí)現(xiàn)對(duì)端接于測(cè)試端面半導(dǎo)體材料的激光(脈沖或連續(xù)波)照射。對(duì)所使用的微波頻率，小孔相當(dāng)于一段截止圓波導(dǎo)，不會(huì)造成微波泄漏及與激光器間的耦合。

如圖2所示，微波反射計(jì)包括微波源、定向器件等，定向器件與本發(fā)明的專用測(cè)量夾具(或稱傳感器)和檢波器分別連接。檢波輸出可以接示波器，根據(jù)激光照射前后波形變化讀出少數(shù)載流子壽命；也可以接計(jì)算機(jī)通過數(shù)據(jù)采集和處理得到少數(shù)載流子壽命。

本發(fā)明的專用測(cè)量夾具可以涵蓋所有矩形波導(dǎo)的各頻段。

以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。