[發(fā)明專利]MEMS仿生矢量水聽器的桔瓣式封裝結(jié)構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210089010.8
• 申請日: 2012-03-30
• 公開（公告）號: CN102620814A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張國軍;何常德;劉林仙;張慧;李振;熊繼軍;薛晨陽;張文棟
• 申請（專利權(quán)）人: 中北大學(xué)
• 主分類號: G01H17/00
• 分類號: G01H17/00;B81B7/00
• 代理公司: 太原科衛(wèi)專利事務(wù)所(普通合伙) 14100
• 代理人: 朱源

1.一種MEMS仿生矢量水聽器的桔瓣式封裝結(jié)構(gòu)，包括用于安置信號處理電路（10）的支撐管（1），支撐管（1）頂部延設(shè)有內(nèi)置引線（11）的縮頸細(xì)管（2），縮頸細(xì)管（2）的頂部固接有開設(shè)中心通孔的支撐盤（3），支撐盤（3）上靠近邊緣的位置設(shè)有環(huán)形卡槽（12），環(huán)形卡槽（12）內(nèi)固接有透聲帽（4）；支撐管（1）底部管口內(nèi)插接有開設(shè)電纜通孔的堵頭（5），管口外螺紋連接有鎖緊螺母（6），其特征在于：透聲帽（4）內(nèi)還設(shè)有支撐臺（7）、軟支架（8）和桔瓣式金屬支架（9），支撐臺（7）固定在支撐盤（3）上表面中心處，支撐臺（7）上開設(shè)有軸向的第一引線孔（13）和軸向的注油通孔（14），支撐盤（3）上對應(yīng)注油通孔（14）的位置開設(shè)有相應(yīng)的注油口（15），注油口（15）內(nèi)螺紋連接有密封螺釘（16）；軟支架（8）固定在支撐臺（7）上表面中心處，軟支架（8）上表面中心處開設(shè)有用于安置四梁-纖毛式敏感體（17）的安裝槽（18）、底面中心處設(shè)有凸臺（19），安裝槽（18）內(nèi)開設(shè)有軸向的第二引線孔（20）；桔瓣式金屬支架（9）包括連接環(huán)（21），連接環(huán)（21）上表面垂直固接有呈對稱桔瓣狀的十字交叉肋板（22），十字交叉肋板（22）底部開設(shè)有用于卡接軟支架（8）及四梁-纖毛式敏感體（17）的卡接槽（23），十字交叉肋板（22）的相交棱上掏設(shè)有一端與卡接槽（23）相通并用于置放四梁-纖毛式敏感體（17）的纖毛（24）的空心柱體（25），空心柱體（25）的側(cè)壁同時也與被十字交叉肋板（22）分割成的四個空間部分相通，四梁-纖毛式敏感體（17）的纖毛（24）置于空心柱體（25）的軸線上，桔瓣式金屬支架（9）通過其連接環(huán)（21）與支撐臺（7）螺紋連接，桔瓣式金屬支架（9）的外形與透聲帽（4）內(nèi)表面尺寸形狀完全相同，且二者之間緊密粘合，透聲帽（4）、桔瓣式金屬支架（9）、四梁-纖毛式敏感體（17）、軟支架（8）、支撐臺（7）之間都緊密結(jié)合且無縫隙。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS仿生矢量水聽器的桔瓣式封裝結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的軟支架（8）是采用美國道康寧184硅橡膠通過灌封工藝制備而成。