[發明專利]磨石座、拆卸夾具、磨床及磨石座的拆卸方法

有效

• 申請號: 201210088852.1
• 申請日: 2012-03-29
• 公開（公告）號: CN102729109A
• 公開（公告）日: 2012-10-17
• 發明（設計）人: 武田英俊
• 申請（專利權）人: 小松NTC株式會社
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B41/06
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 岳雪蘭

技術領域

本發明涉及磨石座、拆卸夾具、磨床及磨石座的拆卸方法。

背景技術

目前，作為對半導體晶片(以下稱作“工件”)進行磨削的方法之一，廣泛公知的是通過使工件和磨石座兩者均旋轉，并利用磨石連續地切削工件的磨削面的橫向磨削法(例如參照專利文獻1)。需要說明的是，磨石座由臺座和磨石構成。臺座具有與工件相對的第一面和設于第一面的相反側的第二面，磨石在臺座的第一面上環狀地形成。

專利文獻1：(日本)特開2007-125678號公報

在專利文獻1所記載的磨床中，磨石座通過固定螺栓固定在以規定軸為中心旋轉的安裝部的安裝面上。在這種磨床中，以提高工件的磨削精度為目的，安裝部的安裝面和臺座的第二面各自的表面粗糙度極低。因此，磨石座和安裝部彼此密接，所以在更換磨石座時，需要在拆下固定螺栓后將磨石座從安裝部分開。

因此，考慮到如下方法：將比固定螺栓長的螺栓擰入形成于磨石座的固定螺栓用螺栓孔，由長的螺栓的前端按壓安裝面，由此從安裝部將磨石座分開。但是，在該方法中，因長的螺栓的前端的按壓而在安裝面上形成凹凸，因此難以維持磨石座和安裝部的密接性。因此，該方法不適合用于上述專利文獻1記載的磨床上。

另一方面，在感應加熱輥裝置中提出了如下方法：在從輥殼拆下通過固定螺栓固定于輥殼上的軸頸的情況下，代替固定螺栓利用擰入軸頸的按壓螺栓將輥殼從軸頸壓出(日本特開2001-210449號公報)。但是，在該方法中，在使固定螺栓的軸部插入的插孔的內周面，形成有與按壓螺栓的外螺紋部嚙合的內螺紋部，因此，形成于插孔的內周面的內螺紋部可能因與固定螺栓的軸部的干涉而受損。所以，該方法也不適合用于上述專利文獻1中記載的磨床上。

發明內容

本發明是鑒于上述狀況而提出的，其目的在于，提供可從安裝部簡便地拆卸的磨石座、可從安裝部簡便地拆卸磨石座的拆卸夾具、具有可從安裝部簡便地拆卸的磨石座的磨床、用于從安裝部簡便地拆卸磨石座的拆卸方法。

第一方面提供的一種磨石座，其通過固定螺栓固定在安裝部上，包括：臺座，其具有第一面、設于第一面的相反側的第二面和從第一面貫通至第二面的貫通孔；磨石，其在臺座的第一面上形成為環狀。貫通孔具有沉孔和插孔，該沉孔在第一面開口且具有第一內徑，該插孔與沉孔相連且具有比第一內徑小的第二內徑。沉孔具有在內周面形成的內螺紋部。

第二方面的磨石座在第一方面的磨石座的基礎上，包括分別具有與貫通孔相同構成的多個貫通孔。多個貫通孔配置為在第一面的俯視圖中以臺座的旋轉中心為基準呈點對稱。

第三方面提供的一種夾具，其用于從安裝部拆下通過固定螺栓固定在安裝部上的磨石座，具有支撐部件和凸臺部件。支撐部件包括：具有外螺紋部的圓柱狀的支撐軸部、與支撐軸部相連且比為了使固定螺栓的軸部插入而設于磨石座的插孔長的圓柱狀的插入部、從插入部的端面突出的圓柱狀的軸部。凸臺部件包括：具有與形成在沉孔的內周面的內螺紋部對應的外螺紋部的凸臺軸部和沿凸臺軸部的軸心形成的軸孔，該沉孔為了收容固定螺栓的頭部而設于磨石座。

第四方面提供的一種磨床，具有磨石座和安裝部。磨石座具有臺座和在臺座的第一面上形成為環狀的磨石，該臺座包括第一面、設于第一面的相反側的第二面、從第一面貫通至第二面的貫通孔。安裝部具有與第二面抵接的安裝面和在第二面開口且與貫通孔相連的螺孔。貫通孔具有沉孔和插孔，該沉孔在第一面開口且具有第一內徑，該插孔與沉孔相連且具有比第一內徑小的第二內徑。沉孔具有在內周面形成的內螺紋部。

第五方面的磨床還具備夾具，該夾具具有支撐部件和凸臺部件。支撐部件包括：具有外螺紋部的圓柱狀的支撐軸部、與支撐軸部相連且比插孔長的圓柱狀的插入部、從插入部的端面突出的圓柱狀的軸部。凸臺部件包括：具有與沉孔的內螺紋部對應的外螺紋部的凸臺軸部和沿凸臺軸部的軸心形成的軸孔。

第六方面提供的一種拆卸方法，用于從安裝部拆下通過固定螺栓固定于安裝部的磨石座，包括：拔出固定螺栓的工序，該固定螺栓插入設于磨石座的插孔并且擰入安裝部的螺孔；準備支撐部件的工序，該支撐部件包括：具有外螺紋部的圓柱狀的支撐軸部、與支撐軸部相連且比插孔長的圓柱狀的插入部、從插入部的端面突出的圓柱狀的軸部；在使支撐軸部插入磨石座的插孔后，向安裝部的螺孔擰入支撐軸部的工序；準備凸臺部件的工序，該凸臺部件包括：具有與形成在設于磨石座的沉孔的內周面的內螺紋部對應的外螺紋部的凸臺軸部，和沿凸臺軸部的軸心形成的軸孔；向凸臺部件的軸孔插入支撐部件的軸部的工序；向沉孔的內螺紋部擰入凸臺軸部的外螺紋部的工序。