[發明專利]旋轉速率傳感器

有效

• 申請號: 201210088784.9
• 申請日: 2012-03-29
• 公開（公告）號: CN102735229B
• 公開（公告）日: 2017-11-17
• 發明（設計）人: T·奧姆斯;B·庫爾曼;R·扎特勒;R·舍本;D·C·邁澤爾
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01C19/5656
• 分類號: G01C19/5656
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.具有第一科氏元件(100)和第二科氏元件(200)的旋轉速率傳感器(1)，其中，所述旋轉速率傳感器(1)具有帶有主延伸平面的襯底，所述旋轉速率傳感器(1)具有用于平行于第二軸(Y)驅動所述第一科氏元件(100)的第一驅動元件(102)，所述旋轉速率傳感器(1)具有用于平行于第二軸(Y)驅動所述第二科氏元件(200)的第二驅動元件(202)，所述旋轉速率傳感器(1)具有用于檢測所述第一科氏元件(100)和所述第二科氏元件(200)由于科氏力而平行于第一軸(X)的偏轉的檢測裝置(140，240)，所述第一軸(X)垂直于所述第二軸(Y)設置，所述第一軸(X)和所述第二軸(Y)平行于所述主延伸平面設置，其中，所述第一驅動元件(102)和所述第二驅動元件(202)通過驅動耦合元件(301，302)機械地相互耦合，其中，所述驅動耦合元件(301，302)直接與所述襯底機械地耦合。

2.根據權利要求1所述的旋轉速率傳感器(1)，其特征在于，所述驅動耦合元件(301，302)具有第一驅動耦合子元件(301)和第二驅動耦合子元件(302)。

3.根據以上權利要求1或2所述的旋轉速率傳感器(1)，其特征在于，所述第一驅動耦合子元件(301)和/或所述第二驅動耦合子元件(302)具有梁結構。

4.根據權利要求1或2所述的旋轉速率傳感器(1)，其特征在于，所述驅動耦合元件(301，302)被構造得相對于圍繞第三軸(Z)的旋轉比相對于圍繞所述第一軸(X)的旋轉更軟，其中，所述第三軸(Z)垂直于所述主延伸平面設置，所述驅動耦合元件(301，302)被構造得在所述第二軸(Y)上比在所述第一軸(X)上更剛性。

5.根據權利要求1或2所述的旋轉速率傳感器(1)，其特征在于，所述檢測裝置具有第一檢測子元件(140)和第二檢測子元件(240)，其中，所述第一檢測子元件(140)和所述第二檢測子元件(240)通過檢測耦合元件(400)機械地相互耦合。

6.根據權利要求5所述的旋轉速率傳感器(1)，其特征在于，所述檢測耦合元件(400)與所述襯底機械地耦合。

7.根據權利要求6所述的旋轉速率傳感器(1)，其特征在于，所述檢測耦合元件(400)具有至少一個第一檢測耦合子元件(31)和至少一個第二檢測耦合子元件(31’)，其中，優選所述第一檢測耦合子元件(31)和/或所述第二檢測耦合子元件(31’)具有梁結構。

8.根據權利要求4所述的旋轉速率傳感器(1)，其特征在于，所述檢測耦合元件(400)被構造得相對于圍繞所述第三軸(Z)的旋轉比相對于圍繞所述第一軸(X)的旋轉更軟，其中，所述檢測耦合元件(400)被構造得在所述第二軸(Y)上比在所述第一軸(X)上更剛性。

9.用于運行包括第一科氏元件(100)和第二科氏元件(200)并且包括具有主延伸平面的襯底的旋轉速率傳感器(1)的方法，其中，通過第一驅動元件(102)激勵所述第一科氏元件(100)作平行于第二軸(Y)的第一振動，通過第二驅動元件(202)激勵所述第二科氏元件(200)作平行于所述第二軸(Y)的第二振動，通過檢測裝置(140，240)檢測所述第一科氏元件(100)和所述第二科氏元件(200)平行于第一軸(X)的偏轉，所述第二軸(Y)垂直于所述第一軸(X)設置，所述第一軸(X)和所述第二軸(Y)平行于所述主延伸平面設置，其中，所述第一振動和所述第二振動通過驅動耦合元件(301，302)機械地相互耦合，其中，所述驅動耦合元件(301，302)直接與所述襯底機械地耦合。