[發明專利]光柵尺標尺光柵銑磨面直線度誤差的非接觸自動檢測裝置

無效

• 申請號: 201210088597.0
• 申請日: 2012-03-30
• 公開（公告）號: CN102607470A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 張吉鵬;孫強;譚向全;盧振武
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 陶尊新

1.光柵尺標尺光柵銑磨面直線度誤差的非接觸自動檢測裝置，該裝置包括底座(1)、底板玻璃(2)、定位柱(3)、三維位移臺(10)和光學檢測系統，所述光學檢測系統包括物鏡(5)、分光棱鏡(6)、CCD攝像頭(7)、聚光鏡(8)和LED光源(9)，其特征是，所述LED光源(9)發出的光束經聚光鏡(8)聚光后被分光棱鏡(6)反射，所述被分光棱鏡(6)反射后的光束透過物鏡(5)形成圓形光斑，其中一部分圓形光斑照在待測標尺光柵(4)上，另一部分圓形光斑照在底座(1)上，照在待測標尺光柵(4)上的圓形光斑經待測標尺光柵(4)反射后依次經過物鏡(5)、分光棱鏡(6)在CCD攝像頭(7)上成清晰的像，照在底座(1)上的圓形光斑經底座(1)反射后依次經過物鏡(5)、分光棱鏡(6)在CCD攝像頭(7)上成模糊的像；所述底板玻璃(2)的兩端通過兩個定位柱(3)固定在底座(1)上，待測標尺光柵(4)置于底板玻璃(2)上待測標尺光柵(4)銑磨面相對面兩端與兩個定位柱(3)接觸，實現待測標尺光柵(4)的定位。

2.根據權利要求1所述的光柵尺標尺光柵銑磨面直線度誤差的非接觸自動檢測裝置，其特征在于，所述三維位移臺(10)具有三個直線方向的自由度。

3.根據權利要求2所述的光柵尺標尺光柵銑磨面直線度誤差的非接觸自動檢測裝置，其特征在于，所述三維位移臺(10)的三個直線方向的自由度分別為：沿紙面左右移動的水平自由度、沿紙面上下移動的垂直自由度和沿紙面上下移動的垂直自由度。