[發(fā)明專利]光柵刻線缺陷檢驗(yàn)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210088493.X
• 申請日: 2012-03-30
• 公開（公告）號: CN102628811A
• 公開（公告）日: 2012-08-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳宏圣;曾琪峰;喬棟;張吉鵬;孫強(qiáng);甘澤龍
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01B11/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 陶尊新

1.光柵刻線缺陷檢驗(yàn)裝置，該裝置包括標(biāo)準(zhǔn)光柵(3)、信號探測頭(1)、第一移位驅(qū)動(dòng)裝置(7)、第二移位驅(qū)動(dòng)裝置(9)、信號處理模塊(8)和脈沖檢測模塊(10)；其特征是，

所述第一移位驅(qū)動(dòng)裝置(7)沿標(biāo)準(zhǔn)光柵(3)的長度掃描方向移動(dòng)信號探測頭(1)，所述信號探測頭(1)記錄調(diào)制后的光強(qiáng)信息，第二移位驅(qū)動(dòng)裝置(9)用于驅(qū)動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)光柵(3)的移動(dòng)位置，所述信號處理模塊(8)接收第一移位驅(qū)動(dòng)裝置(7)的位移信息、信號探測頭(1)輸出的光強(qiáng)信息和第二移位驅(qū)動(dòng)裝置(9)輸出的標(biāo)準(zhǔn)光柵(3)的位置信息；并將所述位置信息進(jìn)行信號放大和數(shù)模轉(zhuǎn)換處理，輸出至脈沖檢測模塊(10)；

所述脈沖檢測模塊(10)對接收的信號進(jìn)行檢測，分析待測光柵(4)刻線缺陷的位置信息。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光柵刻線缺陷檢驗(yàn)裝置，其特征在于，所述的信號探測頭(1)包括光源(5)、光學(xué)系統(tǒng)(6)和信號檢測芯片(2)，光源(5)發(fā)出的光信號經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)(6)轉(zhuǎn)化為準(zhǔn)直光，信號檢測芯片(2)用于檢測經(jīng)待測光柵(4)和標(biāo)準(zhǔn)光柵(3)調(diào)制后的光強(qiáng)信息。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光柵刻線缺陷檢驗(yàn)裝置，其特征在于，所述脈沖檢測模塊(10)通過信號幅值計(jì)算各個(gè)位置點(diǎn)之間的相位差。