[發(fā)明專利]太陽電池用共摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜的制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210087303.2
• 申請日: 2012-03-29
• 公開（公告）號(hào): CN102534501A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁玉珍;王輝;吳曉麗
• 申請（專利權(quán)）人: 山東理工大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/08
• 分類號(hào): C23C14/08;C23C14/34;H01L31/18
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1.太陽電池用共摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜的制備方法，使用高真空多靶位磁控濺射系統(tǒng)，用室溫循環(huán)水對其冷卻降溫，用99.999%高純氬氣作為濺射氣體，其特征在于：包括如下步驟：

a）將基片使用無水乙醇擦拭后，置于丙酮溶液內(nèi)利用超聲波清洗；

b）使用無水乙醇浸泡后使用去離子水反復(fù)沖洗；

c）將基片高溫烘干，放入濺射室；所用靶材由ZnO、Al₂O₃和ZrO₂混合燒結(jié)而成，ZnO、Al₂O₃和ZrO₂的純度均為99.99%，其中ZnO、Al₂O₃與ZrO₂的質(zhì)量分?jǐn)?shù)分別為94%：1%：5%；

d）調(diào)整靶材與基片，使之平行放置，兩者之間距離在40mm～80mm；濺射功率為140～160W；濺射壓強(qiáng)在2～3Pa；流量15～25?cm³/min；真空度為2.6～3×10^-4Pa；濺射時(shí)間為30～60min。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽電池用共摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜的制備方法，其特征在于：在所述步驟a）中，基片為25mm×50mm×1mm的載玻片，丙酮溶液為60℃，清洗時(shí)間為10min。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽電池用共摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜的制備方法，其特征在于：在所述步驟b）無水乙醇浸泡時(shí)間為20min。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一所述的太陽電池用共摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜的制備方法，其特征在于：在所述步驟c）中，基片烘干溫度為150℃并保溫6h。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的太陽電池用共摻雜氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜的制備方法，其特征在于：在所述步驟d）中，靶材與基片間距為50mm；濺射功率為150W；濺射壓強(qiáng)在2.5Pa；流量20cm³/min；真空度為2.8×10^-4Pa；濺射時(shí)間為45min。