[發明專利]激光成像掃描式光柵位移傳感器無效
| 申請號： | 201210086911.1 | 申請日： | 2012-03-29 |
| 公開（公告）號： | CN102636122A | 公開（公告）日： | 2012-08-15 |
| 發明（設計）人： | 杜金昌 | 申請（專利權）人： | 杜金昌 |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610045 四川省成都市武侯區晉*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 成像 掃描 光柵 位移 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.激光成像掃描式光柵位移傳感器，該傳感器用于測量直線位移；特征在于，傳感器采用光源為發散角小于0.5°的平行光源。
2.如權利要求1所述平行光源，特征在于，平行光源輸出的光束通過與其成45°夾角的反射鏡反射后，垂直射入主尺、標尺。
3.如權利要求1所述平行光源，特征在于，采用單光源方式，通過光傳播方向縱向排列的部分反射鏡與全反射鏡對單束光分成多束光，垂直射入主尺、標尺。
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