[發明專利]多孔缺陷匹配型光子晶體面發射激光器無效
| 申請號： | 201210084753.6 | 申請日： | 2012-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN102623890A | 公開（公告）日： | 2012-08-01 |
| 發明（設計）人： | 徐晨;解意洋;鄧軍;朱彥旭;魏思民;毛明明;曹田;闞強;王春霞;陳弘達 | 申請（專利權）人： | 北京工業大學 |
| 主分類號： | H01S5/183 | 分類號： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203 | 代理人： | 劉萍 |
| 地址： | 100124 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多孔 缺陷 匹配 光子 晶體 發射 激光器 | ||
【權利要求書】：
1.多孔缺陷匹配型光子晶體面發射激光器，依次包括有在襯底上依次生長下DBR，有源區，氧化限制層，上DBR和P型歐姆接觸層，氧化限制層設有氧化孔；
其特征在于：在上DBR和P型歐姆接觸層中刻蝕出光子晶體空氣孔制作出多孔缺陷型光子晶體結構，多孔缺陷型光子晶體結構包括光子晶體空氣孔以及光子晶體缺陷孔；
多孔缺陷型光子晶體結構周期1-3微米，占空比為0.3-0.9，多孔缺陷型光子晶體結構為三角晶格結構時的缺陷孔個數小于19；多孔缺陷型光子晶體結構為正方晶格結構時個數小于16個，刻蝕深度在1-2微米，同時氧化孔的直徑D比光子晶體缺陷孔的直徑d大一個光子晶體空氣孔直徑b，即D＝b+d。
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