[發(fā)明專利]手套箱及使用此手套箱之薄膜沉積設(shè)備

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210084307.5
• 申請(qǐng)日: 2012-03-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103358326A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉念慈;游大緯;于伯淵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 綠種子科技(濰坊)有限公司
• 主分類號(hào): B25J21/02
• 分類號(hào): B25J21/02;C23C16/44
• 代理公司: 上海波拓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31264
• 代理人: 楊波

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是有關(guān)于一種半導(dǎo)體制程設(shè)備，且特別是有關(guān)于一種手套箱及使用此手套箱之薄膜沉積設(shè)備。

背景技術(shù)

薄膜沉積(Thin?Film?Deposition)可應(yīng)用于裝飾品、餐具、刀具、工具、模具、半導(dǎo)體組件等之表面處理，泛指在各種金屬材料、超硬合金、陶瓷材料及晶圓基板的表面上，成長(zhǎng)一層同質(zhì)或異質(zhì)材料薄膜的制程，以期獲得美觀耐磨、耐熱、耐蝕等特性。薄膜沉積依據(jù)沉積過(guò)程中，是否含有化學(xué)反應(yīng)的機(jī)制，可以區(qū)分為物理氣相沉積（Physical?Vapor?Deposition，簡(jiǎn)稱PVD）及化學(xué)氣相沉積（Chemical?Vapor?Deposition，簡(jiǎn)稱CVD）。

隨著沉積技術(shù)及沉積參數(shù)差異，所沉積薄膜的結(jié)構(gòu)可能是單晶、多晶、或非結(jié)晶的結(jié)構(gòu)。單晶薄膜的沉積在集成電路制程中特別重要，稱為是磊晶(epitaxy)。相較于晶圓基板，磊晶成長(zhǎng)的半導(dǎo)體薄膜的優(yōu)點(diǎn)主要有：可以在沉積過(guò)程中直接摻雜施體或受體，因此可以精確控制薄膜中的摻質(zhì)分布(dopant?profile)，而且不包含氧與碳等雜質(zhì)。

金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積?(Metal-Organic?Chemical?VaporDeposition，簡(jiǎn)稱?MOCVD)，其原理是利用承載氣體?(carrier?gas)攜帶氣相反應(yīng)物，或是前驅(qū)物進(jìn)入裝有晶圓的腔體中，晶圓下方的承載盤(susceptor)以特定方式加熱晶圓及接近晶圓的氣體，因高溫觸發(fā)單一或是數(shù)種氣體間的化學(xué)反應(yīng)式，將反應(yīng)物(通常為氣體)轉(zhuǎn)換為固態(tài)生成物沉積在晶圓表面的一種薄膜沉積技術(shù)。

于MOCVD設(shè)備中，手套箱通常是用來(lái)將高純惰性氣體充入箱體內(nèi)，并循環(huán)過(guò)濾掉其中的活性物質(zhì)的設(shè)備，也稱真空手套箱、惰性氣體保護(hù)箱等，其特征在于對(duì)氧(O₂)、水(H₂O)、有機(jī)氣體的清除。手套箱也廣泛應(yīng)用于其它無(wú)水、無(wú)氧、無(wú)塵的超純環(huán)境，如：鋰離子電池及材料、超級(jí)電容、特種燈、雷射焊接、釬焊等。

現(xiàn)有技術(shù)中的手套箱的構(gòu)造是將蓋板以多數(shù)個(gè)螺栓鎖固的方式固定于箱體上，蓋板中間結(jié)合玻璃板而形成透明的窗口，在玻璃板上形成多數(shù)個(gè)手套孔，在手套孔上設(shè)置手套。然而，由于蓋板是以多數(shù)個(gè)螺栓鎖固，因此安裝及拆卸相當(dāng)繁瑣費(fèi)時(shí)，會(huì)增加維護(hù)設(shè)備所需的時(shí)間及人力。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種手套箱，其操作簡(jiǎn)單，能夠節(jié)省時(shí)間和人力。

本發(fā)明還提供一種薄膜沉積設(shè)備，以提升操作便利性。

本發(fā)明一實(shí)施例提出一種手套箱，用于安裝至少一手套。此手套箱包括箱體、蓋板、以及連接組件。箱體具有開(kāi)口。蓋板上形成有至少一手套安裝孔，至少一手套安裝于至少一手套安裝孔。連接組件連接箱體與蓋板，蓋板適于藉由連接組件而相對(duì)于箱體移動(dòng)以覆蓋開(kāi)口或離開(kāi)開(kāi)口。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之連接組件包括樞軸，蓋板的一端藉由樞軸樞接于箱體，蓋板適于沿樞軸相對(duì)于箱體轉(zhuǎn)動(dòng)。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之連接組件包括第一樞軸、第二樞軸及連桿，連桿的一端藉由第一樞軸樞接于蓋板，連桿的另一端藉由第二樞軸樞接于箱體。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之連接組件包括滑軌，滑軌設(shè)置于箱體上，蓋板可滑動(dòng)地連接于滑軌。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之手套箱更包括驅(qū)動(dòng)件，連接蓋板與箱體，驅(qū)動(dòng)件適于驅(qū)使蓋板相對(duì)于箱體轉(zhuǎn)動(dòng)，以將蓋板轉(zhuǎn)動(dòng)至開(kāi)啟位置。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之驅(qū)動(dòng)件為油壓臂或電動(dòng)式自動(dòng)開(kāi)啟機(jī)構(gòu)。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之手套箱更包括第一密封構(gòu)件設(shè)于蓋板與箱體之間。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之手套箱更包括至少一鎖扣件，適于固定蓋板與箱體。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之蓋板包括框架以及窗口，窗口安裝于框架上，窗口對(duì)應(yīng)于開(kāi)口，至少一手套安裝孔形成于窗口上。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之手套箱更包括第二密封構(gòu)件，設(shè)于窗口與框架之間。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之窗口的材質(zhì)為壓克力，窗口嵌于框架中。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之手套箱更包括多個(gè)鎖固組件，將窗口固定于框架。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之手套箱更包括黏膠，將窗口固定于框架。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之手套箱更包括至少一施壓件設(shè)于箱體上，至少一施壓件適于緊抵蓋板。

在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述之手套箱更包括把手，設(shè)于蓋板上。

本發(fā)明另一實(shí)施例提出一種薄膜沉積設(shè)備。此薄膜沉積設(shè)備具有上述手套箱。