[發明專利]光學平臺隔振性能聲光調制檢測裝置與檢測方法

無效

• 申請號: 201210082480.1
• 申請日: 2012-03-27
• 公開（公告）號: CN102620906A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發明（設計）人: 苗潤才;張宗權;楊宗立;謝甜
• 申請（專利權）人: 西安航空技術高等?？茖W校
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00
• 代理公司: 西安永生專利代理有限責任公司 61201
• 代理人: 申忠才

1.一種光學平臺隔振性能聲光調制檢測裝置，其特征在于：在光學平臺(12)的中心位置放置臺面水槽(9)，地面上光學平臺(12)的前側放置地面水槽(14)，地面水槽(14)和臺面水槽(9)的長度方向與光學平臺(12)的長度方向平行，地面水槽(14)和臺面水槽(9)內裝有水，光學平臺(12)左側地面上設置有安裝架(2)、右側地面上設置有顯示屏(11)，安裝架(2)上設置有激光器(4)和位于激光器(4)激光出射方向的分束鏡(5)，在分束鏡(5)的透射光方向設置有分束反射鏡(6)，激光器(4)上設置有通過導線與計算機(1)相連的CCD攝像頭(3)，分束鏡(5)的反射光方向地面水槽(14)的中心平面上設置有左地面反射鏡(15)、分束反射鏡(6)的反射光方向光學平臺(12)上臺面水槽(9)的中心平面上設置有左臺面反射鏡(7)，地面水槽(14)的左側壁中心線上端左地面反射鏡(15)的反射光方向上設置有光闌(8)，臺面水槽(9)的左側壁中心線上端位置左臺面反射鏡(7)的反射光方向上設置有光闌(8)，地面水槽(14)內水面反射光方向地面上設置有右地面反射鏡(13)，臺面水槽(9)內水面反射光方向光學平臺(12)上設置有右臺面反射鏡(10)，顯示屏(11)位于右地面反射鏡(13)和右臺面反射鏡(10)的反射光方向。

2.按照權利要求1所述的光學平臺隔振性能聲光調制檢測裝置，其特征在于：所述的地面水槽(14)和臺面水槽(9)長方形水槽。

3.按照權利要求1或2所述的超大尺度光學平臺受激振幅一致性檢測裝置，其特征在于：所述的地面水槽(14)和臺面水槽(9)內的水位高度相同。

4.按照權利要求1所述的光學平臺隔振性能聲光調制檢測裝置，其特征在于：所述的光闌(8)的孔徑為2.3mm。

5.按照權利要求1所述的光學平臺隔振性能聲光調制檢測裝置，其特征在于：所述的地面水槽(14)底部中心與臺面水槽(9)底部中心在地面上投影點之間的距離至少為光學平臺(12)寬度的1.1倍。

6.一種使用權利要求1光學平臺隔振性能聲光調制檢測裝置的檢測方法，其特征在于它是由下述步驟組成：

A.在地面水槽(14)、臺面水槽(9)內分別注入蒸餾水，地面水槽(14)和臺面水槽(9)內蒸餾水的水位高度為80mm。

B.分別調整左地面反射鏡(15)和左臺面反射鏡(7)的角度至左地面反射鏡(15)和左臺面反射鏡(7)的反射光通過光闌(8)，分別與地面水槽(14)、臺面水槽(9)長度方向的側壁平行，使左地面反射鏡(15)的反射激光束在地面水槽(14)水面上的入射點位于地面水槽(14)對角線相交的中心位置、反射激光束與地面水槽(14)內水面的入射角為88.5°，使左臺面反射鏡(7)的反射激光束在臺面水槽(9)水面上的入射點位于臺面水槽(9)對角線相交的中心位置、反射激光束與臺面水槽(9)內水面的入射角為88.5°。

C.在地面水槽(14)底部中心與臺面水槽(9)底部中心在地面上投影連線的垂直平分線上顯示屏(11)的左側，用質量為500g的帶圓錐體橡膠頭的重錘，由10cm高處自由落下敲擊地面，地面水槽(14)底部地面振動和臺面水槽(9)底部光學平臺振動在地面水槽(14)和臺面水槽(9)內水表面形成表面波，水表面波對入射激光束產生調制反射，經地面水槽(14)水表面波調制反射到右地面反射鏡(13)、由右地面反射鏡(13)反射到顯示屏(11)上，在顯示屏(11)上呈現出干涉條紋，經臺面水槽(9)水表面波調制反射到右臺面反射鏡(10)、由右臺面反射鏡(10)反射到顯示屏(11)上，在顯示屏(11)上呈現出干涉條紋。

用CCD攝像頭3連續采集顯示屏(11)上的干涉條紋，并轉換成數字信號輸出到計算機(1)，選擇連續采集的兩列干涉條紋中各自條紋個數最多一列干涉條紋，并分別對選擇的干涉條紋個數計數，計算機(1)按下式計算地面水槽(14)所處位置地面受激振動振幅和臺面水槽(9)底部光學平臺的受激振動振幅：

A₀＝0.944(N-1)-5.5

式中A₀為地面水槽(14)或臺面水槽(9)所處位置的受激振動振幅，單位為μm，N為地面水槽(14)或臺面水槽(9)內水的表面波對入射激光束產生調制反射在顯示屏(11)上呈現的條紋個數最多的一列干涉條紋個數；比較在同一激勵下地面受激振幅與光學平臺受激振動振幅的大小，判斷光學平臺(12)的隔振效果。