[發明專利]用于沉積膜的方法和設備

無效

• 申請號: 201210080898.9
• 申請日: 2008-06-13
• 公開（公告）號: CN102632710A
• 公開（公告）日: 2012-08-15
• 發明（設計）人: 弗拉基米爾·布洛維奇;陳江龍;康納爾·弗朗西斯·馬迪根;馬丁·A·斯楚米特
• 申請（專利權）人: 麻省理工學院
• 主分類號: B41J2/01
• 分類號: B41J2/01;H01L33/00
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 王偉;安翔

1.一種用于在襯底上沉積墨的設備，所述設備包括：

腔室，其用于容納墨；

排放噴嘴，所述排放噴嘴具有入口端口和出口端口，所述排放噴嘴在所述入口端口處接收來自所述腔室的一定量的墨，并從所述出口端口排放所述一定量的墨；以及

分配器，所述分配器用于對從所述腔室到所述排放噴嘴的所述入口端口的所述一定量的墨進行計量，

其中，所述腔室容納呈液體形式的墨，所述呈液體形式的墨具有位于載液中的多個懸浮顆粒，并且所述排放噴嘴蒸發所述載液，并將基本上為固體的顆粒沉積在所述襯底上。

2.根據權利要求1所述的設備，進一步包括殼體，所述殼體用于容納所述腔室和所述排放噴嘴。

3.根據權利要求2所述的設備，其中，所述殼體限定所述腔室與所述排放噴嘴之間的導管。

4.根據權利要求2所述的設備，進一步包括輸送管，其用于將氣體引入所述殼體中。

5.根據權利要求1所述的設備，進一步包括墨貯存器，其與所述腔室以流體方式連通。

6.根據權利要求1所述的設備，其中，所述分配器進一步包括加熱器，所述加熱器用于對所述一定量的墨進行計量。

7.根據權利要求1所述的設備，其中，所述分配器進一步包括壓電元件，所述壓電元件用于對所述一定量的墨進行計量。

8.根據權利要求1所述的設備，其中，所述分配器通過以第一頻率輸送能量脈沖來計量一定量的液體墨。

9.根據權利要求1所述的設備，其中，所述排放噴嘴進一步包括多個導管，所述導管從所述入口端口延伸到所述出口端口，所述多個導管在所述入口端口處接收呈液體形式的墨，并從所述出口端口分配基本上為固體形式的多個顆粒。

10.根據權利要求1所述的設備，其中，所述排放噴嘴進一步包括多個導管，其由多個分隔物分隔開，每個導管的開口表面面積W保持1/20000＜W/D＜1/4的關系，其中，D是所述排放噴嘴的入口端口的表面面積。

11.一種用于在襯底上沉積墨的方法，所述方法包括：

以第一頻率進行激勵，從而對到達排放噴嘴的一定量的墨進行計量，所述墨由載液中的多個固體顆粒來限定；

在所述排放噴嘴處接收經過計量的、所述一定量的墨，并且蒸發經過計量的、所述一定量的墨中的載液，以提供一定量的固體顆粒；

對來自所述排放噴嘴的固體顆粒進行分配，并且將所述固體顆粒沉積在所述襯底上，以及

其中，在從所述排放噴嘴排放期間，所述固體顆粒的至少一部分被轉換成氣相，并且以蒸氣的形式被導向所述襯底，然后以基本上為固體的形式冷凝在所述襯底的表面上。

12.根據權利要求11所述的方法，其中，對所述一定量的墨進行激勵的步驟還包括：用多個熱脈沖來加熱所述一定量的墨。

13.根據權利要求11所述的方法，其中，對所述一定量的墨進行激勵的步驟還包括：激活壓電元件，以計量所述一定量的墨。

14.根據權利要求13所述的方法，其中，通過以第一頻率提供能量脈沖來激活所述壓電元件。

15.根據權利要求11所述的方法，其中，從所述排放噴嘴分配所述基本上為固體的墨顆粒的步驟進一步包括：

提供從所述排放噴嘴的入口端口延伸到所述排放噴嘴的出口端口的多個導管，所述多個導管在所述入口端口處接收所述多個固體顆粒和所述載液，并且對將要從所述出口端口分配的、基本上為固體形式的所述墨進行加熱。

16.根據權利要求11所述的方法，其中，從所述排放噴嘴分配基本上為固體形式的、所述一定量的墨的步驟進一步包括：

提供具有由多個分隔物分隔開的多個導管的排放噴嘴，每個所述導管的開口表面面積W保持1/20000＜W/D＜1/4的關系，其中，D是所述排放噴嘴的入口端口的表面面積。

17.根據權利要求11所述的方法，其中，所述固體墨顆粒基本上沒有溶劑。