[發明專利]一種膜厚測量裝置及方法有效
| 申請號： | 201210080756.2 | 申請日： | 2012-03-23 |
| 公開（公告）號： | CN102778202A | 公開（公告）日： | 2012-11-14 |
| 發明（設計）人： | 曲連杰;郭建;王德帥;朱朋舉 | 申請（專利權）人： | 北京京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 程立民;蔣雅潔 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 測量 裝置 方法 | ||
1.一種膜厚測量裝置，包括準直透鏡、第一半透半反鏡、物鏡、第二半透半反鏡、收集光纖、圖像傳感器、計算機，其特征在于，所述裝置還包括分光單元；其中，
所述分光單元，用于對所述收集光纖收集到的光進行分光處理，分離得到各個波長的光；
所述計算機，用于獲取不同波長的光的強度，計算得到被測物的膜厚。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述分光單元包括第一準直透鏡、棱鏡和第二準直透鏡；其中，
所述第一準直透鏡，用于對所述收集光纖收集到的光進行折射，形成平行光束；
所述棱鏡，用于對所述平行光束進行分光，得到不同波長的光束；
所述第二準直透鏡，用于對所述不同波長的光束進行聚焦成像。
3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述分光單元，還包括聚焦平面，用于為所述第二準直透鏡提供成像平面。
4.根據權利要求1至3任一項所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括光纖探針，用于通過自身位置的調整獲取所述分光單元分離得到的不同波長的光強度。
5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述圖像傳感器為電荷耦合元件CCD，用于將所述光纖探針獲取的光強度傳輸給所述計算機。
6.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述光纖探針，具體用于根據用戶輸入的收集指令，進行自身位置的調整及不同波長的光的采樣點數目的確定。
7.一種膜厚測量方法，其特征在于，所述方法還包括：
收集光纖收集被測物反射過來的光；
分光單元對所述收集光纖收集到的光進行分光處理，分離得到各個波長的光；
計算機獲取不同波長的光的強度，計算得到被測物的膜厚。
8.根據權利要求7所述的方法，其特征在于，所述分光單元對所述收集光纖收集到的光進行分光處理為：
第一準直透鏡對所述收集光纖收集到的光進行折射，形成平行光束；
通過棱鏡對所述平行光束進行分光，得到不同波長的光束；
第二準直透鏡對所述不同波長的光束進行聚焦成像。
9.根據權利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述計算機獲取不同波長的光的強度為：
光纖探針通過自身位置的調整獲取不同波長的光強度，并將獲取的光強度通過圖像傳感器傳輸給所述計算機。
10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述光纖探針通過自身位置的調整獲取不同波長的光強度為：
光纖探針根據用戶輸入的收集指令，進行自身位置的調整及不同波長的光的采樣點數目的確定。
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