[發明專利]一種側泵激光模塊熱效應的檢測裝置

無效

• 申請號: 201210080185.2
• 申請日: 2012-03-23
• 公開（公告）號: CN102607812A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 樊仲維;王小發;黃玉濤;連富強;黃科;石朝輝;王培峰;周密;趙天卓;唐熊忻
• 申請（專利權）人: 北京國科世紀激光技術有限公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 北京泛華偉業知識產權代理有限公司 11280
• 代理人: 王勇

1.一種側泵激光模塊熱效應的檢測裝置，包括：

指示光源，由激光器構成，發出指示光；

擴束鏡，用于將指示光擴束；

第一1:1分束鏡，用于將被擴束鏡擴束后的光分成反射光束和透射光束，該反射光束和透射光束的方向不同、能量相等；

第二1:1分束鏡；

至少兩個全反鏡，分別將所述反射光束和透射光束反射到所述第二1:1分束鏡，相干疊加成一束相干光束，其中所述反射光束所經歷的光路為第一光路，所述透射光束所經歷的光路為第二光路；

成像裝置，用于接收所述相干光束，并對相干疊加后的干涉條紋成像，

其中所述反射光束和透射光束在第一1:1分束鏡與第二1:1分束鏡之間的光路長度相等，待測側泵激光模塊位于第一光路或第二光路中。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其中第一光路和第二光路中不具有待測側泵激光模塊的一個光路中具有另一個與待測側泵激光模塊相同的側泵激光模塊。

3.根據權利要求1或2所述的檢測裝置，其中指示光在可見光波段。

4.根據權利要求1或2所述的檢測裝置，其中指示光的光譜不落在待測側泵激光模塊的發射譜內。

5.根據權利要求1或2所述的檢測裝置，其中指示光的直徑小于等于待測側泵模塊中增益介質的直徑。

6.根據權利要求1或2所述的檢測裝置，其中反射光束和透射光束在第一1:1分束鏡與第二1:1分束鏡之間的光路長度的偏差在+/-3mm以內。

7.根據權利要求1或2所述的檢測裝置，其中所述反射光束和透射光束在第一1:1分束鏡與第二1:1分束鏡之間的光路長度的偏差小于指示光源的相干長度。

8.根據權利要求1至7中的任一權利要求所述的檢測裝置的檢測方法，包括：

在成像裝置上觀察干涉條紋的移動；

通過公式Δd＝nλ計算側泵激光模塊的增益介質中光程的變化量，其中Δd表示增益介質光程的變化量，n表示成像裝置所成的像中干涉條紋的移動數目，λ表示指示光的波長。

9.根據權利要求1至7中的任一權利要求所述的檢測裝置的檢測方法，通過判斷干涉條紋中是否出現瑕疵點來判斷是否存在熱畸變，通過比較瑕疵點的相對個數、瑕疵點的相對大小或者干涉條紋的相對對稱性，來比較熱畸變的相對大小。