[發明專利]XY工作臺

有效

• 申請號: 201210079771.5
• 申請日: 2012-03-23
• 公開（公告）號: CN103325695A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 吉田光
• 申請（專利權）人: 株式會社華祥
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 李翔;董彬

技術領域

本發明涉及降低驅動時的振動，而且可小型化的XY工作臺，特別是涉及適宜于半導體制造裝置的XY工作臺。

背景技術

在接線機等半導體制造裝置中，采用將具有焊頭的焊接頭在XY軸方向進行定位的XY工作臺。專利文獻1中公開有能夠防止因高速移動所產生的振動的XY工作臺。專利文獻1所公開的XY工作臺具有X軸、Y軸的直線電動機，該X軸、Y軸的直線電動機用于在與由可動工作臺和作業部件構成的可動部的重心位置相同的高度位置對可動工作臺分別施加X方向和Y方向的驅動力。X軸和Y軸的直線電動機與可動工作臺直接連結，在可動部被直線電動機驅動時，來自直線電動機的力作用于可動部的重心。因此，可動工作臺的位置即使偏離與該驅動方向正交的方向，也能夠始終驅動重心。由此，即便使可動工作臺高速移動，也幾乎不產生扭力(モ一メントカ)，能夠防止因高速移動產生的振動。

另外，在專利文獻2中公開了半導體制造裝置中的電動機驅動裝置和XY工作臺，其中，利用直線電動機驅動驅動體的直線電動機驅動裝置構成為，在同一驅動軸方向上可移動地將直線電動機的電動機主體和驅動體設置在架臺上，將直線電動機的直線可動部和驅動體連結起來，在驅動該驅動體時，使電動機主體向與驅動體相反的方向上移動，消除因驅動體的驅動產生的反作用力，從而能夠防止架臺的振動。

另外，專利文獻3是以提高專利文獻2中的XY工作臺的定位精度為目的的專利文獻。圖7是表示專利文獻3所公開的XY工作臺的俯視圖。如圖7所示，在專利文獻3所公開的XY工作臺100中，將平面直線電動機101的具有線圈的Y可動元件103不通過引導件而就直接固定在上部工作臺104上，上部工作臺104以能夠在Y可動元件103的驅動軸方向的Y軸方向上移動的方式保持在下部工作臺105上。另外，對于線圈102的X軸方向的移動的整個區域，對線圈102的磁力作用變得相等。通過使下部工作臺105在X軸方向上移動，上部工作臺104和具有線圈的Y可動元件也如箭頭所示那樣在X軸方向上移動。在Y可動元件在Y軸方向上移動時，對Y電動機主體的Y可動元件103的磁力作用，不論Y可動元件103的X軸方向中的位置如何是相等的，因此不會施加上部工作臺104的偏擺方向的推力，由此，抑制導軌106的游隙或磨耗的增加，難以產生錯位或旋轉振動，進行穩定的定位。另外，X軸用的電動機采用音圈(術イスコイル)電動機107。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2001-148398號公報

專利文獻2：日本專利2981999號公報

專利文獻3：日本特開2002-329772號公報

在專利文獻1、專利文獻2和專利文獻3中公開的XY工作臺將X軸直線電動機配置在XY工作臺的側方，并將Y軸直線電動機配置在XY工作臺的后方，該X軸直線電動機用于驅動在X方向以及Y方向上可移動地配置的可動工作臺。因此，XY工作臺大型化，而且設置XY工作臺需要較大的空間。由此，導致使用了XY工作臺的裝置自身也大型化。例如，焊接裝置將進行焊接部件的輸送的輸送裝置配置在XY工作臺的前方和兩側，在以往的XY工作臺中，X軸直線電動機位于XY工作臺的側方，因此，在輸送裝置的配置方面存在限制。因此，期望XY工作臺的小型化。

另外，在專利文獻1和專利文獻3中公開的XY工作臺將對可動工作臺施加Y方向的驅動力的Y軸直線電動機與可動工作臺直接連結。因此，當可動工作臺在X方向上移動的情況下，與可動工作臺直接連結的Y軸的直線電動機的線圈和可動元件也同時在X方向上移動，因此，在Y軸直線電動機的線圈中存在以可動工作臺為中心產生由X方向的振動所導致的偏擺振動(ヨ一イング振動)，可動工作臺的X軸的位置控制不穩定。另外，偏擺振動也有可能向搭載有XY工作臺的架臺傳遞，架臺也可能產生振動。

另外，XY工作臺驅動可動工作臺的X軸和Y軸的直線電動機通常采用音圈電動機。音圈電動機為了獲得較大的推力而需要使磁體大型化。另外，音圈電動機的可動范圍取決于磁體的平面的長度，因此，需要準備能夠覆蓋可動范圍的磁體。但是，能夠制作的磁體的長度存在極限，因此，可動工作臺的可動范圍就被磁體的長度限制。另外，存在難以形成對線圈穩定的磁場、特別是推力在磁體的兩端降低的問題。另外，音圈電動機的線圈配置在由磁軛和磁體圍成的空間，由于來自線圈的熱量不散發，需要將散熱等的機構設于音圈電動機。

發明內容