[發明專利]一種雙面膜片微型氣體富集器無效
| 申請號： | 201210078853.8 | 申請日： | 2012-03-23 |
| 公開（公告）號： | CN102590398A | 公開（公告）日： | 2012-07-18 |
| 發明（設計）人： | 杜曉松;吳澤;李臆;蔣亞東;邱棟 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G01N30/08 | 分類號： | G01N30/08 |
| 代理公司： | 成都華典專利事務所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 徐豐;楊保剛 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 雙面 膜片 微型 氣體 富集 | ||
【權利要求書】：
1.一種雙面膜片微型氣體富集器，其特征在于，具有兩個硅片，每個硅片上設置有至少一個懸空膜片，每個懸空膜片上制備有薄膜加熱器，兩個硅片上下對準后鍵合形成至少一個微型氣室，每個懸空膜片的內壁涂敷有吸附薄膜，在微型氣室的側壁開有氣孔以形成多個微型氣室之間的氣流通道或整個富集器的進氣口和出氣口。
2.根據權利要求1所述的雙面膜片微型氣體富集器，其特征在于，所述懸空膜片為氮化硅薄膜或氮氧硅薄膜或二氧化硅薄膜或氮化硅/二氧化硅多層薄膜。
3.根據權利要求1所述的雙面膜片微型氣體富集器，其特征在于，所述薄膜加熱器由蛇形金屬薄膜或重摻多晶硅薄膜構成，金屬薄膜的材料采用鉑或鈀或鎢或鉬或鉭。
4.根據權利要求1所述的雙面膜片微型氣體富集器，其特征在于，所述吸附薄膜為聚合物或碳黑/聚合物復合材料或溶膠-凝膠無機氧化物。
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