[發明專利]一種靈敏的濕度傳感器材料的制備方法

有效

• 申請號: 201210078465.X
• 申請日: 2012-03-22
• 公開（公告）號: CN102645455A
• 公開（公告）日: 2012-08-22
• 發明（設計）人: 汪勇;李逢彬;邢衛紅;范益群
• 申請（專利權）人: 南京工業大學
• 主分類號: G01N27/22
• 分類號: G01N27/22;C04B41/50
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 徐冬濤;袁正英

1.一種靈敏的濕度傳感器材料的制備方法，其具體步驟如下：

a配制質量濃度為0.5％～5％的聚苯乙烯聚2-乙烯基吡啶嵌段共聚物(PS-b-P2VP)有機溶液，然后在轉速為400～5000轉/分下，將嵌段共聚物溶液旋涂到硅片上，接著將旋涂好的硅片放置在真空干燥箱中干燥，然后將干燥后的樣品在溫度為30～70℃的選擇性有機溶劑中溶脹1～24小時，最后將溶脹后的樣品取出自然干燥。

b將溶脹后的樣品置于原子層沉積儀器反應腔中，抽真空并加熱反應室溫度到60～90℃，使樣品在設定溫度下保持10～40min，反應腔內的氣壓為0.01～10torr，載氣的流量設定為5～30sccm，前驅體的溫度恒定在20～40℃之間；

c第一步：脈沖第一種前驅體，時間為0.01～1s，接著使脈沖出的第一種前驅體氣體分子在反應腔中暴露0～60s；

第二步：向反應腔中脈沖清掃氣體，清掃時間為20～70s；

第三步：脈沖第二種前驅體，時間為0.01～1s，接著使脈沖出的第二種前驅體氣體分子在反應腔中暴露0～60s；

第四步：向反應腔中脈沖清掃氣體，清掃時間為20～70s；

d根據具體的需要，重復步驟c，控制沉積層的厚度。

e將沉積后的樣品，在400～700℃下高溫煅燒，升溫速率為1～8℃/min，煅燒時間為3～10小時。

2.根據權利要求1所述的一種靈敏的濕度傳感器制備方法，其特征在于步驟a中所述的有機溶液中的溶劑為四氫呋喃或甲苯。

3.根據權利要求1所述的一種靈敏的濕度傳感器制備方法，其特征在于步驟a中所述的選擇性有機溶劑為乙醇或者甲醇。

4.根據權利要求1所述的一種靈敏的濕度傳感器制備方法，其特征在于步驟c中所述的第一種前驅體為三甲基鋁、四氯化鈦或異丙醇鈦。

5.根據權利要求1所述的一種靈敏的濕度傳感器制備方法，其特征在于步驟c中所述的第二種前驅體為去離子水。

6.根據權利要求1所述的一種靈敏的濕度傳感器制備方法，其特征在于步驟c中所述的清掃氣體為氮氣或氬氣。

7.根據權利要求1所述的一種靈敏的濕度傳感器制備方法，其特征在于步驟d中所述的重復步驟c循環次數為10～60次。