[發明專利]光偏轉器的驅動器及其設定方法

有效

• 申請號: 201210077887.5
• 申請日: 2012-03-22
• 公開（公告）號: CN102692704A
• 公開（公告）日: 2012-09-26
• 發明（設計）人: 四十物孝憲
• 申請（專利權）人: 斯坦雷電氣株式會社
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B26/10
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種用于驅動光偏轉器的驅動器，所述光偏轉器包括：

反射鏡；

可動框，其用于支承所述反射鏡；

支承體，其包圍所述可動框；以及

用作懸臂的第一組壓電致動器和用作懸臂的與所述第一組壓電致動器交替的第二組壓電致動器，

所述壓電致動器在每個致動器處折返并且從所述支承體連接到所述可動框，每個所述壓電致動器都與所述反射鏡的一個軸平行，

所述驅動器將具有相同波形的第一原始鋸齒波和第二原始鋸齒波組合為第一鋸齒波；

所述驅動器生成具有所述第一鋸齒波的第一驅動電壓并且將所述第一驅動電壓施加到所述第一組壓電致動器，

所述驅動器生成具有與所述第一鋸齒波相位相反的第二鋸齒波的第二驅動電壓并且將所述第二驅動電壓施加到所述第二組壓電致動器，

所述第一原始鋸齒波和所述第二原始鋸齒波之間的相位差為預定值，以抑制取決于所述壓電致動器的、所述反射鏡關于它的所述軸的機械振動系統的固有頻率與所述反射鏡的頻率的一致。

2.根據權利要求1所述的驅動器，其中，所述相位差被確定為

其中，f₀是所述第一原始鋸齒波和所述第二原始鋸齒波的頻率；f_c是所述固有頻率。

3.根據權利要求1所述的驅動器，其中，使僅將所述第一驅動電壓施加到所述第一組壓電致動器而不施加所述第二驅動電壓時所述反射鏡的偏轉角的幅度等于僅將所述第二驅動電壓施加到所述第二組壓電致動器而不施加所述第一驅動電壓時所述反射鏡的偏轉角的幅度。

4.一種設定用于驅動光偏轉器的驅動數據的方法，所述光偏振器包括：

反射鏡；

可動框，其用于支承所述反射鏡；

支承體，其包圍所述可動框；以及

用作懸臂的第一組壓電致動器和用作懸臂的與所述第一組壓電致動器交替的第二組壓電致動器，

所述壓電致動器在每個致動器處折返并且從所述支承體連接到所述可動框，每個所述壓電致動器都與所述反射鏡的一個軸平行，

所述方法包括以下步驟：

設定對于分別用于所述第一組壓電致動器和所述第二組壓電致動器的第一驅動電壓和第二驅動電壓而言公共的周期；

指定上升時段與下降時段的比，所述上升時段和所述下降時段之和與所設定的周期相同，以選擇形成具有所述上升時段和所述下降時段的第一原始鋸齒波的第一原始驅動數據；

將所述第一原始驅動數據移位一個移位量以獲得第二原始驅動數據，所述移位量與取決于所述壓電致動器的、所述反射鏡關于它的所述軸的機械振動系統的固有頻率的半波長相對應；

將所述第一原始驅動數據和所述第二原始驅動數據組合為第一驅動數據，所述第一驅動數據形成了用于所述第一組壓電致動器的第一鋸齒波；以及

將所述第一驅動數據反轉以獲得第二驅動數據，所述第二驅動數據形成了用于所述第二組壓電致動器的第二鋸齒波。

5.根據權利要求4所述的方法，其中，所述偏移量被確定為

其中，f₀是所述第一原始鋸齒波和所述第二原始鋸齒波的頻率；f_c是所述固有頻率。

6.根據權利要求4所述的方法，該方法還包括以下步驟：使僅將所述第一驅動數據的第一驅動電壓施加到所述第一組壓電致動器而不施加所述第二驅動數據的第二驅動電壓時所述反射鏡的偏轉角的幅度等于僅將所述第二驅動電壓施加到所述第二組壓電致動器而不施加所述第一驅動電壓時所述反射鏡的偏轉角的幅度。