[發(fā)明專利]單晶爐引晶溫度尋找和控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210077752.9
• 申請(qǐng)日: 2012-03-22
• 公開（公告）號(hào): CN102586864A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁玉平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州拜爾光電設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/20
• 分類號(hào): C30B15/20
• 代理公司: 常州市江海陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32214
• 代理人: 林倩

1.一種單晶爐引晶溫度尋找和控制方法，包括單晶爐，單晶爐具有主爐室以及控制系統(tǒng)，主爐室內(nèi)設(shè)有對(duì)坩鍋內(nèi)的硅料加熱的加熱裝置，主爐室外面安裝有測(cè)溫裝置，控制系統(tǒng)包括計(jì)算機(jī)以及顯示測(cè)溫裝置所測(cè)得的溫度變化的顯示屏，其特征在于：首先設(shè)定參數(shù)，參數(shù)包括最大化料功率、后段化料時(shí)間、化料后的勻溫時(shí)間，把上述參數(shù)輸入計(jì)算機(jī)；計(jì)算機(jī)程序控制啟動(dòng)加熱裝置后，逐步加大加熱裝置的功率，直至達(dá)到設(shè)定的最大化料功率，在這過程中溫度逐漸上升，計(jì)算機(jī)不斷接收到來自測(cè)溫裝置的溫度信息，當(dāng)計(jì)算機(jī)跟蹤到至少5分鐘時(shí)間內(nèi)測(cè)溫裝置測(cè)得的溫度恒定在某一數(shù)值上，計(jì)算機(jī)自動(dòng)將該溫度設(shè)定為引晶溫度，維持最大化料功率，當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的后段化料時(shí)間，計(jì)算機(jī)指令降低加熱裝置的功率，計(jì)算機(jī)根據(jù)測(cè)溫裝置采集到的溫度信息與設(shè)定的引晶溫度比較，不斷調(diào)整加熱裝置功率，直至采集到的溫度與設(shè)定的引晶溫度一致并保持恒定，恒定的時(shí)間達(dá)到設(shè)定的勻溫時(shí)間，拉晶開始。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐引晶溫度尋找和控制方法，其特征在于：所述后段化料時(shí)間為2至5個(gè)小時(shí)。

3.一種單晶爐引晶溫度尋找和控制方法，包括單晶爐，單晶爐具有主爐室以及控制系統(tǒng)，主爐室內(nèi)設(shè)有對(duì)坩鍋內(nèi)的硅料加熱的加熱裝置，主爐室外面安裝有測(cè)溫裝置，控制系統(tǒng)包括計(jì)算機(jī)以及顯示測(cè)溫裝置所測(cè)得的溫度變化的顯示屏，其特征在于：首先設(shè)定參數(shù)，參數(shù)包括化料功率，后段化料時(shí)間，化料后的勻溫時(shí)間，把上述參數(shù)輸入計(jì)算機(jī)；操作人員啟動(dòng)加熱裝置后，逐步加大加熱裝置的功率，直至達(dá)到設(shè)定的化料功率，在這過程中溫度逐漸上升，操作人員通過顯示屏監(jiān)視測(cè)溫裝置的溫度信息，當(dāng)觀察到測(cè)溫裝置的溫度至少有5分鐘時(shí)間恒定在某一數(shù)值上，操作人員將該數(shù)值輸入計(jì)算機(jī)作為引晶溫度，維持最大化料功率，當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的后段化料時(shí)間，計(jì)算機(jī)指令降低加熱裝置的功率，計(jì)算機(jī)根據(jù)測(cè)溫裝置采集到的溫度信息與設(shè)定的引晶溫度比較，不斷調(diào)整加熱裝置功率，直至采集到的溫度與設(shè)定的引晶溫度一致并保持恒定，恒定的時(shí)間達(dá)到設(shè)定的勻溫時(shí)間，拉晶開始。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單晶爐引晶溫度尋找和控制方法，其特征在于：所述后段化料時(shí)間為2至5個(gè)小時(shí)。