[發(fā)明專利]真空設(shè)備的改良

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210076635.0
• 申請(qǐng)日: 2012-03-21
• 公開（公告）號(hào): CN103320765A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 余建志;楊嘉麟;朱英珍;林賜民;許俊樹;陳杏貞;袁金玉;陳長(zhǎng)宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日揚(yáng)電子科技（上海）有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44;C23C16/46;C23C14/22;C23C14/50
• 代理公司: 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 31233
• 代理人: 宋纓

1.一種真空設(shè)備的改良，該真空設(shè)備具有相互連接的腔體及組裝有加熱裝置的腔體，腔體設(shè)有腔壁，據(jù)腔壁圍設(shè)形成有腔室，腔室設(shè)有互通腔體及開啟對(duì)外的出入口，以及運(yùn)作中可旋轉(zhuǎn)開啟與封閉出入口的出入口門，而腔體下方具有承接單元，承接單元于腔體外分布有相互連接的滾動(dòng)端子，且腔體外設(shè)有驅(qū)動(dòng)滾動(dòng)端子旋轉(zhuǎn)的旋動(dòng)元件；而后，腔室內(nèi)分布有據(jù)滾動(dòng)端子軸接旋動(dòng)的樞轉(zhuǎn)輪，樞轉(zhuǎn)輪上可輸送有容納基板的基板載部，其特征在于：該承接單元接近出入口門處于腔體外設(shè)有一近門滾動(dòng)端子，腔體外于相對(duì)近門滾動(dòng)端子配置的橫接架，橫接架固接有伸縮元件，伸縮元件具有一通過近門滾動(dòng)端子中心后伸入腔室的伸縮心軸，伸縮心軸于腔室中固定有可連動(dòng)回避運(yùn)作中出入口門的樞轉(zhuǎn)輪。

2.如權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的改良，其特征在于：其中，該伸縮心軸增設(shè)有平面緣，而近門滾動(dòng)端子又設(shè)有供伸縮心軸穿透的心軸孔，心軸孔另具有貼接平面緣的孔面部。

3.如權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的改良，其特征在于：其中，該基板載部范圍前側(cè)另鎖接有夾板，夾板增設(shè)有方便基板套入的框架，框架又具有角點(diǎn)，而夾板增設(shè)有未超出角點(diǎn)的第一圓接孔，而后，基板載部后側(cè)另開設(shè)有未超出角點(diǎn)的第二圓接孔，并以第一圓接孔與第二圓接孔未超出角點(diǎn)部份又形成限位基板的角點(diǎn)容部；而后，基板載部下方增設(shè)有一承接圓桿，上方平行承接圓桿又分布有滾動(dòng)元件；且承接圓桿兩端又形成有圓錐段；此外，承接單元另于腔室內(nèi)分布有滾接承接圓桿的樞轉(zhuǎn)輪，并腔室上方又增設(shè)有靠持滾動(dòng)元件的限位單元。

4.如權(quán)利要求3所述的真空設(shè)備的改良，其特征在于：其中，該限位單元增設(shè)有固定于腔體的支撐部，支撐部又分布有長(zhǎng)條孔；另外，支撐部上又銜設(shè)有靠持樞轉(zhuǎn)輪的彎接板，彎接板相對(duì)長(zhǎng)條孔增設(shè)有貫通孔，且貫通孔與長(zhǎng)條孔又可穿設(shè)有彎接板的螺固元件，螺固元件反向鎖接有控制彎接板定位與調(diào)整的旋接元件。

5.如權(quán)利要求1所述的真空設(shè)備的改良，其特征在于：其中，該腔壁于基板載具另相對(duì)位置開設(shè)有第一銜接口，第一銜接口處又密接有加熱裝置，加熱裝置朝腔室側(cè)臨近基板載部處增設(shè)有石英板制作的透明基部，而加熱裝置朝腔室反側(cè)于透明基部又定位有石英燈管組接的加熱元件，而后，加熱裝置于加熱元件外另罩接有冷卻元件。

6.如權(quán)利要求5所述的真空設(shè)備的改良，其特征在于：其中，該腔壁于基板載部及第一銜接口相對(duì)位置增加開設(shè)有第二銜接口，第二銜接口處又密接有一可開啟的維修門，維修門增設(shè)有監(jiān)視基板載部狀況的窗口，窗口處又封接有耐高壓及高溫的透明體。

7.如權(quán)利要求5所述的真空設(shè)備的改良，其特征在于：其中，該腔壁于基板載部及第一銜接口相對(duì)位置增加開設(shè)有第二銜接口，第二銜接口處又密接有一加熱裝置。

8.如權(quán)利要求5所述的真空設(shè)備的改良，其特征在于：其中，該腔體外另可設(shè)有門鈕，門鈕又設(shè)有可活動(dòng)的門鈕耳部，據(jù)門鈕耳部結(jié)合該加熱裝置，又依此門鈕組接可方便加熱裝置開啟該第一銜接口；而后，腔體另設(shè)有封閉耳部，又加熱裝置增設(shè)有密封第一銜接口后嵌接封閉耳部相互鎖合的懸掛部。