[發(fā)明專利]在玻璃基板上生長(zhǎng)微納結(jié)構(gòu)氧化錫摻氟薄膜的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201210075384.4 | 申請(qǐng)日： | 2012-03-21 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN102603207A | 公開（公告）日： | 2012-07-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 韓高榮;高倩;汪建勛;李銘;宋晨路;劉涌;沈鴿 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 浙江大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | C03C17/245 | 分類號(hào)： | C03C17/245 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200 | 代理人： | 韓介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 玻璃 基板上 生長(zhǎng) 結(jié)構(gòu) 氧化 錫摻氟 薄膜 方法 | ||
1.在玻璃基板上生長(zhǎng)微納結(jié)構(gòu)氧化錫摻氟薄膜的方法，其特征是包括以下步驟：
1）將經(jīng)過清洗的玻璃基片放入氣相沉積反應(yīng)室，常壓下，將反應(yīng)室加熱至500～650℃；
2）先驅(qū)體有機(jī)錫源和有機(jī)氟源用氮?dú)庾鬏d氣，催化劑H2O用空氣做載氣，分別在鼓泡器中氣化后通入混氣室，得到混合反應(yīng)氣；
3）將上述混合反應(yīng)氣通入鍍膜反應(yīng)器中輸送到氣相沉積反應(yīng)室的玻璃基板上，控制鍍膜反應(yīng)器噴氣口與玻璃表面的距離為2～5毫米，有機(jī)氣源中Sn:F質(zhì)量比例為2:1-3:1，氣體總量4L/min-5L/min，在500-650℃的溫度條件下在玻璃基片表面進(jìn)行沉積，沉積5-30s后，停止通入氣體，冷卻即可。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在玻璃基板上生長(zhǎng)微納結(jié)構(gòu)氧化錫摻氟薄膜的方法，其特征在于所說的有機(jī)錫源是單丁基三氯化錫、氯化亞錫、四氯化錫、氧化二丁錫或三氯乙丁錫。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在玻璃基板上生長(zhǎng)微納結(jié)構(gòu)氧化錫摻氟薄膜的方法，其特征在于所說的有機(jī)氟源是三氟乙酸。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于浙江大學(xué)，未經(jīng)浙江大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201210075384.4/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：固定磨粒金屬絲的制造方法
- 下一篇：焊接方法
- 卡片結(jié)構(gòu)、插座結(jié)構(gòu)及其組合結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)平臺(tái)結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)支撐結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)支撐結(jié)構(gòu)
- 單元結(jié)構(gòu)、結(jié)構(gòu)部件和夾層結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)扶梯結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)隔墻結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)連接結(jié)構(gòu)
- 螺紋結(jié)構(gòu)、螺孔結(jié)構(gòu)、機(jī)械結(jié)構(gòu)和光學(xué)結(jié)構(gòu)
- 螺紋結(jié)構(gòu)、螺孔結(jié)構(gòu)、機(jī)械結(jié)構(gòu)和光學(xué)結(jié)構(gòu)
