[發明專利]板體研磨裝置

有效

• 申請號: 201210075020.6
• 申請日: 2012-03-20
• 公開（公告）號: CN102601711A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 李建翔
• 申請（專利權）人: 友達光電(蘇州)有限公司;友達光電股份有限公司
• 主分類號: B24B21/06
• 分類號: B24B21/06;B24B21/18
• 代理公司: 上海波拓知識產權代理有限公司 31264
• 代理人: 楊波

1.一種板體研磨裝置，其特征在于，包括：

一升降平臺，具有一承載部；

一研磨模塊，與該承載部相對，該研磨模塊包括：

一研磨帶，具有相對的一研磨面與一背面；以及

一驅動組件，連接該研磨帶，以驅使該研磨帶轉動；以及

一加壓模塊，包括：

一加壓頭，適于移動而接觸至位于該升降平臺與該加壓頭之間的部分該研磨帶的該背面；以及

一壓力調整組件，連接該加壓頭，并適于移動該加壓頭以調整該加壓頭施加于該研磨帶的壓力，該壓力調整組件包括一腔體、一電磁線圈、一永久磁鐵以及一連接件，該腔體具有一遠離該加壓頭的頂側，該永久磁鐵可移動地設置于該電磁線圈與該頂側之間，且該永久磁鐵與該頂側之間形成一密封氣密室，該電磁線圈固定于該腔體，并位于該加壓頭與該永久磁鐵之間，而該連接件連接于該永久磁鐵與該加壓頭。

2.如權利要求1所述的板體研磨裝置，其特征在于，更包括一壓力偵測模塊，配置于該承載部，而該壓力調整組件更包括一控制單元，電性連接至該壓力偵測模塊與該電磁線圈。

3.如權利要求1所述的板體研磨裝置，其特征在于，該研磨面為一粗糙面。

4.如權利要求1所述的板體研磨裝置，其特征在于，該加壓模塊更包括多個滾珠，設置于該加壓頭內，且該加壓頭包括一接觸面用于接觸該研磨帶，該接觸面上設有多個孔洞，該些滾珠分別經由該些孔洞伸出該接觸面外以接觸該研磨帶。

5.如權利要求1所述的板體研磨裝置，其特征在于，該加壓頭包括一接觸面用于接觸該研磨帶，該接觸面設有多個出液孔，該研磨帶設有多個貫孔，該些貫孔從該研磨面延伸至該背面。

6.如權利要求1所述的板體研磨裝置，其特征在于，該驅動組件包括一滾輪組。

7.如權利要求1所述的板體研磨裝置，其特征在于，該承載部包括一第一承載面與位于該第一承載面邊緣的一第二承載面，該第一承載面與該加壓頭之間的距離不同于該第二承載面與該加壓頭之間的距離。

8.如權利要求1所述的板體研磨裝置，其特征在于，該升降平臺包括：

一平臺本體，具有該承載部；以及

一驅動元件，連接該平臺本體，以驅使該平臺本體朝接近或遠離該研磨模塊的方向移動。

9.一種板體研磨裝置，其特征在于，包括：

一升降平臺，具有一承載部；

一研磨模塊，與該承載部相對，該研磨模塊包括：

一研磨帶，具有相對的一研磨面與一背面；以及

一驅動組件，連接該研磨帶，以驅使該研磨帶轉動；以及

一加壓模塊，包括：

一加壓頭，適于移動而接觸至該升降平臺與該加壓頭之間的部分該研磨帶的該背面；

多個滾珠，設置于該加壓頭內，且該加壓頭包括一接觸面用于接觸該研磨帶，該接觸面上設有多個孔洞，該些滾珠分別經由該些孔洞伸出該接觸面外以接觸該研磨帶；以及

一壓力調整組件，連接該加壓頭，并適于移動該加壓頭以調整該加壓頭施加于該研磨帶的壓力。

10.如權利要求9所述的所述的板體研磨裝置，其特征在于，更包括一壓力偵測模塊，配置于該承載部，且電性連接至該壓力調整組件。

11.如權利要求9所述的板體研磨裝置，其特征在于，該研磨面為一粗糙面。

12.如權利要求9所述的板體研磨裝置，其特征在于，該加壓頭的該接觸面設有多個出液孔，該研磨帶設有多個貫孔，該些貫孔從該研磨面延伸至該背面。

13.如權利要求9所述的板體研磨裝置，其特征在于，該驅動組件包括一滾輪組。

14.如權利要求9所述的板體研磨裝置，其特征在于，該承載部包括一第一承載面與位于該第一承載面邊緣的一第二承載面，該第一承載面與該加壓頭之間的距離不同于該第二承載面與該加壓頭之間的距離。

15.如權利要求9所述的板體研磨裝置，其特征在于，該升降平臺包括：

一平臺本體，具有該承載部；以及

一驅動元件，連接該平臺本體，以驅使該平臺本體朝接近或遠離該研磨模塊的方向移動。