[發明專利]一種高功率全固態激光器的除濕干燥裝置

有效

• 申請號: 201210074905.4
• 申請日: 2012-03-20
• 公開（公告）號: CN102610985A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 農光壹;趙鵬飛;林培晨;林學春;侯瑋
• 申請（專利權）人: 江蘇中科四象激光科技有限公司
• 主分類號: H01S3/02
• 分類號: H01S3/02;F26B21/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種高功率全固態激光器的除濕干燥裝置，屬于高功率激光器應用技術領域。?

技術背景

近年來由于半導體激光的迅速發展，使半導體激光泵浦的全固態激光器加工設備所占的市場份額越來越大，據預測，全球需求量以每年20％以上的速度增長，全固態激光器體積小、效率高、壽命長、光束質量好、可實現柔性加工，其優勢明顯，已成為激光加工領域的主流發展方向，其典型代表有：光纖激光器、碟片激光器與棒狀激光器。?

濕氣、粉塵等對激光器光學元器件的污染會嚴重影響激光器的穩定性和可靠性，因此全固態激光器對應用環境的低濕度、低粉塵、低油污等的高度要求，嚴重制約了其在工業領域的應用，為保證激光器穩定、安全地運行，目前激光器普遍采用的除濕干燥方法是：1、激光器應用于超凈間實驗室，未成為工業車間應用產品；2、在應用車間搭建滿足激光器運行要求的潔凈間；3、對激光器機殼進行密封隔離，然后在激光器中存放干燥劑，適時更換干燥劑；4、往激光器諧振腔充入N₂。?

現有激光器除濕干燥及粉塵隔離措施的主要缺點在于：超凈實驗室內的實驗產品無法走出實驗室，在工業環境應用；1、在工業車間建立潔凈室，加大了應用成本和激光器運行的不便利性；2、在激光器中存放干燥劑治標不治本，不停地更換干燥劑亦帶來不便和成本增加；同時，在濕度常年高達80％的應用環境亦達不到干燥要求；3、雖然充N₂的方法在一定的程度上保證了除濕效果，但是由于激光器機柜無法做到嚴格氣密，故造成N₂用量極大，成本增加。?

發明內容

針對以上不足，本發明的目的在于提供一種高功率全固態激光器的除濕干燥裝置，包括第一密封室和第二密封室，形成雙層氣密封保護，做到激光器光路、光學元件與外部環境的隔離；充N₂快速除濕，N₂經進氣孔進入第一密封室，向第二密封室排出，形成單向氣流，達到更快更好的除濕效果。?

本發明的技術方案是通過以下方式實現的：一種高功率全固態激光器的除濕干燥裝置，包括第一密封室和第二密封室，第一密封室包括放置激光模塊和部分光學元器件的密封盒I、II、III、IV，各密封盒之間通過管路串聯N₂導氣管密封軟連接，第二密封室包含第一密封室、光學鏡片和鏡架，兩側面安裝恒溫除濕主機，其中一側面開一進氣孔，N₂進氣分兩路，一路與第一密封室的進氣孔相連，經電磁閥I控制向密封盒I充氣，另一路直接通過電磁閥II向第二密封室充氣，其特征在于：所述的第一密封室和第二密封室內均設有溫濕度檢測傳感器，由激光器的控制系統自動控制N₂的開啟和關閉。?

所述的第一個密封盒I中開有進氣孔，最后一個密封盒IV開設有出氣孔，出氣孔前安裝有自動泄壓閥。?

所述的第二密封室與其進氣孔相對應開一帶有自動泄壓閥的出氣孔，形成單向氣流方向。?

本發明，第一、第二密封室形成雙層氣密封保護，做到激光器光路、光學元件與外部環境的隔離；嚴格的氣密封設計，IP67等級密封，使激光器內部與外部隔離，無需建立超凈車間或無塵、低濕環境，提高了激光器對工業環境的適應性，保證了激光器穩定、可靠、安全地運行；不用干燥劑等需要更換的除濕措施，更節約成本；恒溫除濕主機結合N₂的干燥方案和自動控制N₂開啟/關閉的設計，實現快速除濕、長期干燥的效果，同時節約N₂用量，降低應用成本；在激光器運行期間，激光器內部濕度能快速(約10分鐘)達到D％以內，D％為可設定值，最佳可達到10％以內，激光器內部溫度能保持20±2℃的狀態。?

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖。?

具體實施方式