[發明專利]散熱結構制作方法

無效

• 申請號: 201210074799.X
• 申請日: 2012-03-20
• 公開（公告）號: CN103325689A
• 公開（公告）日: 2013-09-25
• 發明（設計）人: 陳逸男;徐文吉;葉紹文;劉獻文
• 申請（專利權）人: 南亞科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/48
• 分類號: H01L21/48
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223
• 代理人: 江耀純

1.一種散熱結構的制作方法，其特征在于，包含：

提供一散熱基板；

于該散熱基板的一面形成鉆石顆粒或薄膜；

于該鉆石顆粒或薄膜上涂布一乳膠聚合物層，構成一散熱器件；以及

將該散熱器件與一發熱器件結合在一起。

2.根據權利要求1所述的散熱結構的制作方法，其特征在于，另包括：將該散熱基板加熱，利用氫氣進行還原并去除氧化物。

3.根據權利要求2所述的散熱結構的制作方法，其特征在于，另包括：利用氬氣形成電漿轟擊該散熱基板的表面，使其有效表面積增加。

4.根據權利要求1所述的散熱結構的制作方法，其特征在于：該發熱器件系為一半導體集成器件。

5.根據權利要求1所述的散熱結構的制作方法，其特征在于：該鉆石顆粒或薄膜的尺寸介于數十奈米至次微米。