[發明專利]具有全方位反射鏡的發光二極管及其制作方法

有效

• 申請號: 201210074485.X
• 申請日: 2012-03-21
• 公開（公告）號: CN102610720A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 潘群峰
• 申請（專利權）人: 廈門市三安光電科技有限公司
• 主分類號: H01L33/02
• 分類號: H01L33/02;H01L33/10;H01L33/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.具有全方位反射鏡的氮化鎵基發光二極管，包括：

藍寶石襯底；?

氮化鎵基外延疊層，形成于該藍寶石襯底的一第一表面，該氮化鎵基外延疊層包含N型氮化鎵基外延層、P型氮化鎵基外延層以及發光層介于前述兩者之間；

全方位反射鏡形成于相對于所述第一表面的所述藍寶石襯底的一第二表面，并且自該第二表面起，該背鍍全方位反射鏡依次包含折射率呈高低周期性交替變化的復數層透光介電層堆、氧化鎵層和銀反射層。

2.根據權利要求1所述的具有全方位反射鏡的氮化鎵基發光二極管，其還包括鎵銀氧化界面層形成于所述氧化鎵層和銀反射層之間。

3.具有全方位反射鏡的氮化鎵基發光二極管的制作方法，包括步驟：

提供藍寶石襯底；

在該藍寶石襯底的第一表面外延生長氮化鎵基外延疊層，該氮化鎵基外延疊層包含N型氮化鎵基外延層、P型氮化鎵基外延層以及發光層介于前述兩者之間；

在該藍寶石襯底的第二表面制作背鍍全方位反射鏡，從第二表面起，該背鍍全方位反射鏡依次包含折射率呈高低周期性交替變化的復數層透光介電層堆、氧化鎵層和銀反射層；

退火以使得銀與氧化鎵層二者界面相互擴散并形成合金。

4.根據權利要求3所述的具有全方位反射鏡的氮化鎵基發光二極管的制作方法，其退火的氛圍包含氮氣和氧氣。

5.根據權利要求3所述的具有全方位反射鏡的氮化鎵基發光二極管的制作方法，其退火的溫度介于300℃~800℃之間。