[發(fā)明專利]拋光墊的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210073229.9
• 申請(qǐng)日: 2007-04-19
• 公開（公告）號(hào): CN102672630A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 福田武司;渡邊二夫;廣瀨純司;中村賢治;堂浦真人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東洋橡膠工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B24D18/00
• 分類號(hào): B24D18/00;C08J9/30;C08L75/08
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 金龍河;樊衛(wèi)民

1.一種帶溝拋光墊制造方法，包括：通過機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的工序；向具有凹結(jié)構(gòu)的傳送帶上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的工序；在排出的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓面材的工序；通過在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而制作由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長拋光層的工序；從傳送帶剝離帶溝長拋光層的工序；和切割帶溝長拋光層的工序。

2.一種帶溝拋光墊制造方法，包括：通過機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的工序；在送出具有凹結(jié)構(gòu)的脫模片的同時(shí)向其上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的工序；在排出的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓面材的工序；通過在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而制作由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長拋光層的工序；從帶溝長拋光層剝離脫模片的工序；和切割帶溝長拋光層的工序。

3.一種帶溝層壓拋光墊制造方法，包括：通過機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的工序；向具有凹結(jié)構(gòu)的傳送帶上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的工序；在排出的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓緩沖層的工序；通過在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長拋光層，從而制作帶溝長層壓片的工序；從傳送帶剝離帶溝長層壓片的工序；和切割帶溝長層壓片的工序。

4.一種帶溝層壓拋光墊制造方法，包括：通過機(jī)械發(fā)泡法制備氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的工序；在送出具有凹結(jié)構(gòu)的脫模片的同時(shí)向其上連續(xù)地排出氣泡分散的氨基甲酸酯組合物的工序；在排出的氣泡分散的氨基甲酸酯組合物上層壓緩沖層的工序；通過在將厚度調(diào)節(jié)均勻的同時(shí)使氣泡分散的氨基甲酸酯組合物固化而形成由聚氨酯發(fā)泡體構(gòu)成的帶溝長拋光層，從而制作帶溝長層壓片的工序；從帶溝長層壓片剝離脫模片的工序；和切割帶溝長層壓片的工序。

5.一種帶溝拋光墊，通過權(quán)利要求1或2所述的方法制造。

6.一種帶溝層壓拋光墊，通過權(quán)利要求3或4所述的方法制造。

7.一種半導(dǎo)體器件制造方法，包括：使用權(quán)利要求5所述的帶溝拋光墊、或權(quán)利要求6所述的帶溝層壓拋光墊對(duì)半導(dǎo)體晶片表面進(jìn)行拋光的工序。