[發明專利]油旋轉真空泵

有效

• 申請號: 201210073014.7
• 申請日: 2012-03-19
• 公開（公告）號: CN102678560A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 松尾 卓;鈴木 規浩;片岡 忠彥;竹內 健太郎
• 申請（專利權）人: ULVAC機工株式會社
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C18/344
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理事務所(普通合伙) 11270
• 代理人: 蔣雅潔;孟桂超

技術領域

本發明涉及一種油旋轉真空泵。

背景技術

油旋轉真空泵通過使旋轉件在泵室內旋轉的同時吸入、壓縮并排出氣體，來實現預期的泵功能。此時，真空泵油用于滑動于泵室內面上的旋轉件的潤滑，以及支撐使旋轉件旋轉的旋轉軸的軸承部的潤滑等。

眾所周知，油旋轉真空泵有旋轉翼式、膜片式、搖動活塞式等型式。在旋轉翼式的情況中，所述旋轉件對應于包含轉子與多個葉片的旋轉翼。例如，下述專利文獻1中記載了具有兩個串聯連接的旋轉件的旋轉翼式兩段式油旋轉真空泵。

在旋轉翼式油旋轉真空泵中，多個葉片隨著轉子的旋轉在泵室的內周面上滑動，從吸氣口向排氣口輸送氣體。通常，所述轉子配置于靠近泵室的上端，以隔著泵室上端的方式分別形成有排氣口與吸氣口。并且，通過形成于泵室上端與轉子的外周面之間的潤滑油的油膜，確保在排氣口側與吸氣口側之間規定的氣密性。

專利文獻1：日本特開平7-77184號公報

發明內容

在所述結構的油旋轉真空泵中，減少葉片滑動阻力的潤滑油與氣體一起向排氣口輸送。葉片通過排氣口后，潤滑油經由泵室上端部的狹窄間隙被導入吸氣口側。另一方面，泵室的壓力越降低，葉片刮去的潤滑油的量就越增加。當被導入至泵室上端的潤滑油的量達到規定以上時，由于排氣口與泵室上端部之間的間隙內封入有潤滑油，因此很難將潤滑油順利導入吸氣側。其結果是，所述間隙內封入的潤滑油對泵室的內壁或葉片產生過大負荷，并產生異常聲響或振動。

鑒于所述情況，本發明的目的在于提供一種可以減少由泵室內的潤滑油引起的異常聲響或振動的油旋轉真空泵。

為了達到所述目的，本發明的實施方式涉及的油旋轉真空泵具備潤滑油的儲存室、泵室、旋轉件與驅動部。

所述泵室包含：通道，與所述儲存室連通；圓筒形狀的內周面，具有吸氣口與排氣口；第一曲面部，在所述吸氣口與所述排氣口之間具有第一頂部；第二曲面部，在所述排氣口與所述第一頂部之間具有第二頂部，且所述第二曲面部形成為與所述第一曲面部連接。

所述旋轉件具有與所述內周面相對的外周面和在所述內周面上滑動的滑動部，且以使所述外周面的一部分接近所述第一曲面部的方式配置在所述泵室內。

所述驅動部連接于所述泵室，且具有使所述旋轉件旋轉的旋轉軸。

附圖說明

圖1為表示本發明實施方式涉及的油旋轉真空泵結構的部分剖面側視圖；

圖2為所述油旋轉真空泵的主要部分的放大圖；

圖3為沿圖2中[A]-[A]線方向的箭頭方向剖視圖；

圖4為所述油旋轉真空泵中的第二泵室的內周面的主要部分的放大圖；

圖5為表示在與本實施方式相同的油旋轉真空泵中，第二泵室的內周面是大致相同的圓柱形狀時的一個例子的主要部分的放大圖；

圖6為表示在與本實施方式相同的油旋轉真空泵中，第二泵室的內周面上只形成有與第一曲面部對應的曲面部時的一個例子的主要部分的放大圖。

附圖標記說明

1????????????????油旋轉真空泵

10???????????????主體

13???????????????儲存室

20????驅動部

21????旋轉軸

30????泵機構

31????第一汽缸塊

32????第二汽缸塊

41????第一轉子

42????第二轉子

51????第一葉片

52????第二葉片

321???中間塊

L?????潤滑線

P1????第一泵室

P2????第二泵室

R1????第一旋轉件

R2????第二旋轉件

C1????第一曲面部

C2????第二曲面部

具體實施方式

本發明的實施方式涉及的油旋轉真空泵具備潤滑油的儲存室、泵室、旋轉件與驅動部。

所述泵室包含：通道，與所述儲存室連通；圓筒形狀的內周面，具有吸氣口與排氣口；第一曲面部，在所述吸氣口與所述排氣口之間具有第一頂部；第二曲面部，在所述排氣口與所述第一頂部之間具有第二頂部，且所述第二曲面部形成為與所述第一曲面部連接。

所述旋轉件具有與所述內周面相對的外周面和在所述內周面上滑動的滑動部，且以使所述外周面的一部分接近所述第一曲面部的方式配置在所述泵室內。