[發明專利]一種用于低溫光學系統的像方掃描裝置及控制方法

無效

• 申請號: 201210072965.2
• 申請日: 2012-03-19
• 公開（公告）號: CN102608759A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 張旋;潘鳴;裴云天;蔣范明;趙高飛;李曉平
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種用于低溫光學系統的像方掃描裝置，包括掃描機構外框(1)、墊塊(2)、壓電雙晶片驅動器(3)、連桿機構(4)、固定軸掃描鏡(5)、軸承(6)以及掃描驅動控制單元(7)，其特征在于，用于掃描鏡驅動的壓電雙晶片驅動器(3)一端固定在掃描機構外框(1)上，中間用墊塊(2)間隔，構成懸臂梁結構；固定軸掃描鏡(5)軸端通過軸承(6)與掃描機構外框(1)連接；壓電雙晶片驅動器(3)的輸出端通過連桿機構(4)與固定軸掃描鏡(5)相連；掃描驅動控制單元(7)驅動掃描機構進行掃描工作。

所述的掃描驅動控制單元(7)，包括掃描波形控制模塊(8)和高壓驅動模塊(9)，掃描波形控制模塊(8)產生任意驅動波形，高壓驅動模塊(9)將掃描驅動波形進行高壓功率放大。

2.根據權利要求1所述的一種用于低溫光學系統的像方掃描裝置，其特征在于，所述的連桿機構(4)、墊塊(2)和掃描機構外框(1)采用殷鋼材料。

3.根據權利要求1所述的一種用于低溫光學系統的像方掃描裝置，其特征在于，所述的固定軸掃描鏡(5)采用微晶玻璃。

4.根據權利要求1的一種用于低溫光學系統的像方掃描裝置，其特征在于，所述的軸承(6)采用自潤滑的陶瓷軸承。

5.一種如權利要求1所述裝置的控制方法，其特征在于包括以下步驟：

1)掃描波形數據存儲在掃描驅動控制單元(7)的掃描波形控制模塊(8)中，掃描波形控制模塊(8)控制輸出電壓波形的幅度和頻率，讀取波形數據并輸出控制電壓波形；

2)掃描系統驅動控制單元(7)的高壓驅動模塊(9)對掃描波形控制模塊(8)輸出的控制電壓波形進行高壓和功率的放大，達到壓電雙晶片驅動器(3)的驅動要求；

3)在高壓驅動波形的驅動下，壓電雙晶片驅動器(3)發生彎曲變形，輸出端面位置發生變化，并通過連桿機構(4)傳遞到固定軸掃描鏡(5)的端面上，固定軸掃描鏡(5)隨之開始轉動，進入掃描狀態。