[發明專利]蓋體開閉裝置

有效

• 申請號: 201210072643.8
• 申請日: 2012-03-16
• 公開（公告）號: CN102683246A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 菅原佑道
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種蓋體開閉裝置，其是FOUP的開閉裝置，該蓋體開閉裝置通過使FOUP的基板取出口的口緣部緊貼于利用開閉門進行開閉的輸送口的口緣部，并使設置在所述開閉門上的蓋體拆卸機構經由FOUP的蓋體的前表面側的開口部進入蓋體內，來解除蓋體與FOUP主體的卡合并保持該蓋體，所述輸送口形成于用于劃分FOUP的輸送區域的氣氛與基板輸送區域的氣氛的隔壁上，其特征在于，該蓋體開閉裝置包括：

排氣口，其用于對形成在緊貼于所述輸送口的口緣部的FOUP與所述開閉門之間的被封閉的空間的氣氛進行排氣；

吹掃氣體噴出部，其設于所述開閉門，經由所述蓋體的前表面側的開口部進入蓋體的內部空間，向該內部空間噴出吹掃氣體，從而將所述內部空間的氣氛從蓋體的與該開口部不同的開口部向所述封閉空間排出。

2.一種蓋體開閉裝置，其是FOUP的開閉裝置，該蓋體開閉裝置通過使FOUP的基板取出口的口緣部緊貼于利用開閉門進行開閉的輸送口的口緣部，并使設置在所述開閉門上的蓋體拆卸機構經由FOUP的蓋體的前表面側的開口部進入蓋體內，來解除蓋體與FOUP主體的卡合并保持該蓋體，所述輸送口形成于用于劃分FOUP的輸送區域的氣氛與基板輸送區域的氣氛的隔壁上，其特征在于，該蓋體開閉裝置包括：

排氣口，其用于對形成在緊貼于所述輸送口的口緣部的FOUP與所述開閉門之間的被封閉的空間的氣氛進行排氣；

排氣部，其設于所述開閉門，經由所述蓋體的前表面側的開口部進入蓋體的內部空間，對該內部空間的氣氛進行排氣。

3.根據權利要求1或2所述的蓋體開閉裝置，其特征在于，

所述吹掃氣體噴出部或排氣部設于所述蓋體拆卸機構上。

4.一種蓋體開閉裝置，其是FOUP的開閉裝置，該蓋體開閉裝置通過使FOUP的基板取出口的口緣部緊貼于利用開閉門進行開閉的輸送口的口緣部，并使設置在所述開閉門上的蓋體拆卸機構經由FOUP的蓋體的前表面側的開口部進入蓋體內，來解除蓋體與FOUP主體的卡合并保持該蓋體，所述輸送口形成于用于劃分FOUP的輸送區域的氣氛與基板輸送區域的氣氛的隔壁上，其特征在于，該蓋體開閉裝置包括：

排氣口，其用于對形成在緊貼于所述輸送口的口緣部的FOUP與所述開閉門之間的被封閉的空間的氣氛進行排氣；

吹掃氣體噴出部，其設于所述蓋體拆卸機構上，并且包括與所述蓋體的前表面相對的相對面和在所述相對面的面方向上設置多個的吹掃氣體噴出口，該吹掃氣體噴出部經由所述蓋體的前表面側的開口部向蓋體的內部空間噴出吹掃氣體，從而將內部空間的氣氛從蓋體的與該開口部不同的開口部向所述封閉空間排出。

5.一種蓋體開閉裝置，其是FOUP的開閉裝置，該蓋體開閉裝置通過使FOUP的基板取出口的口緣部緊貼于利用開閉門進行開閉的輸送口的口緣部，并使設置在所述開閉門上的蓋體拆卸機構經由FOUP的蓋體的前表面側的開口部進入蓋體內，來解除蓋體與FOUP主體的卡合并保持該蓋體，所述輸送口形成于用于劃分FOUP的輸送區域的氣氛與基板輸送區域的氣氛的隔壁上，其特征在于，該蓋體開閉裝置包括：

排氣口，其用于對形成在緊貼于所述輸送口的口緣部的FOUP與所述開閉門之間的被封閉的空間的氣氛進行排氣；

排氣部，其設于所述蓋體拆卸機構上，并且包括與所述蓋體的前表面相對的相對面和在所述相對面的面方向上設置多個的排氣口，該排氣部經由所述蓋體的前表面側的開口部對蓋體的內部空間的氣氛進行排氣。

6.根據權利要求1所述的蓋體開閉裝置，其特征在于，

FOUP的輸送區域是大氣氣氛，基板輸送區域是非活性氣體氣氛，且所述吹掃氣體是非活性氣體。