[發(fā)明專(zhuān)利]具有檢測(cè)樣品表面取向的表面取向傳感器的切片機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210071976.9
• 申請(qǐng)日: 2012-03-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102692338A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-09-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: H-J·M·楊;X·S·貝
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 美國(guó)櫻花檢驗(yàn)儀器株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G01N1/06
• 分類(lèi)號(hào): G01N1/06
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 蘇娟

1.一種樣品切片裝置，包括：

切割機(jī)構(gòu)，所述切割機(jī)構(gòu)能夠操作，以便從樣品切割切片；

樣品保持器，所述樣品保持器能夠操作，以便保持所述樣品；

驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)與所述樣品保持器聯(lián)接，所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)能夠操作以便在通過(guò)所述樣品保持器保持的樣品和所述切割機(jī)構(gòu)之間驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)；以及

表面取向傳感器，所述表面取向傳感器能夠操作以便檢測(cè)通過(guò)所述樣品保持器保持的樣品的表面的取向。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品切片裝置，其中，所述表面取向傳感器能夠在兩維上轉(zhuǎn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的樣品切片裝置，其中，所述表面取向傳感器包括能夠圍繞第一軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的第一構(gòu)件和能夠圍繞第二軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的第二構(gòu)件，并且其中所述第一軸線大致垂直于所述第二軸線。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的樣品切片裝置，其中，所述第一構(gòu)件包括板，并且所述第二構(gòu)件包括與所述板聯(lián)接的框架。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的樣品切片裝置，還包括：

第一檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述第一檢測(cè)機(jī)構(gòu)能夠檢測(cè)所述第一構(gòu)件圍繞所述第一軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)；以及

第二檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述第二檢測(cè)機(jī)構(gòu)能夠檢測(cè)所述第二構(gòu)件圍繞所述第二軸線的轉(zhuǎn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的樣品切片裝置，其中所述第一構(gòu)件和所述第二構(gòu)件能夠與所述表面取向傳感器可動(dòng)地聯(lián)接，并且能夠在所述樣品在所述第一構(gòu)件和所述第二構(gòu)件中的一個(gè)或多個(gè)上施加力時(shí)在離開(kāi)所述樣品的方向上運(yùn)動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的樣品切片裝置，還包括能夠檢測(cè)所述第一構(gòu)件和第二構(gòu)件在離開(kāi)所述樣品的方向上的運(yùn)動(dòng)量的檢測(cè)機(jī)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品切片裝置，還包括：

機(jī)動(dòng)夾頭，所述機(jī)動(dòng)夾頭與所述樣品保持器聯(lián)接，所述機(jī)動(dòng)夾頭能夠調(diào)節(jié)所述樣品的表面的取向；以及

邏輯線路，所述邏輯線路造成所述樣品切片裝置根據(jù)所檢測(cè)的取向自動(dòng)調(diào)節(jié)所述樣品的表面的取向。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的樣品切片裝置，其中，所述邏輯線路包括造成所述樣品切片裝置多次自動(dòng)調(diào)節(jié)所述樣品的表面相對(duì)于與所述切割機(jī)構(gòu)相聯(lián)的切割平面的取向，同時(shí)通過(guò)所述表面取向傳感器檢測(cè)所述樣品的表面的被調(diào)節(jié)取向，以使得所述樣品的表面取向更加平行于所述切割平面的邏輯線路。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的樣品切片裝置，還包括所述機(jī)動(dòng)夾頭的馬達(dá)，所述馬達(dá)能夠操作以鎖定所述機(jī)動(dòng)夾頭的位置，從而將所述樣品保持器保持的樣品的表面的取向保持在固定取向。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品切片裝置，其中，所述表面取向傳感器在一位置處與所述樣品切片裝置固定聯(lián)接，并且其中所述位置與所述切割機(jī)構(gòu)基本上豎直對(duì)準(zhǔn)。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品切片裝置，其中，所述表面取向傳感器能夠與所述樣品切片裝置可動(dòng)聯(lián)接，所述表面取向傳感器能夠操作以便在第一位置和進(jìn)一步遠(yuǎn)離通過(guò)所述樣品保持器保持的樣品和所述切割機(jī)構(gòu)之間的運(yùn)動(dòng)的第二縮回位置之間運(yùn)動(dòng)，在所述第一位置，所述表面取向傳感器被定位以檢測(cè)通過(guò)所述樣品保持器保持的所述樣品的表面的取向。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣品切片裝置，還包括：

手輪；

第一編碼器，所述第一編碼器通過(guò)第一軸與所述手輪聯(lián)接，所述第一編碼器能夠操作，以便產(chǎn)生所述手輪的角度位置的電學(xué)表示；

所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的馬達(dá)；

第二編碼器，所述第二編碼器通過(guò)第二軸與所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的馬達(dá)聯(lián)接，所述第二編碼器能夠操作以便產(chǎn)生所述驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的馬達(dá)的角度位置的電學(xué)表示；以及

控制電路，所述控制電路與所述第一編碼器和所述第二編碼器電聯(lián)接，并且能夠操作以便接收所述手輪和所述馬達(dá)的角度位置的電學(xué)表示，所述控制電路能夠操作以便至少部分根據(jù)所述手輪的角度位置的電學(xué)表示控制所述馬達(dá)。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的樣品切片裝置，其中，所述控制電路能夠操作以便控制馬達(dá)不運(yùn)動(dòng)，直到所述手輪和所述馬達(dá)的角度位置的電學(xué)表示的比較指示所述手輪的位置與所述馬達(dá)的位置對(duì)準(zhǔn)。