[發(fā)明專利]膏劑涂覆頭、膏劑涂覆裝置以及膏劑涂覆方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201210070006.7
• 申請(qǐng)日: 2012-03-16
• 公開（公告）號(hào): CN102671823A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 渡邊健;石田茂;圓山勇;張曉東;渡邊正賢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)
• 主分類號(hào): B05C5/02
• 分類號(hào): B05C5/02;B05C11/10
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 張斯盾

1.一種膏劑涂覆頭，其特征在于，收納涂覆材的涂覆材收納筒由預(yù)先收納所充填的該涂覆材的母膏劑收納筒和臨時(shí)保存該涂覆材的子膏劑收納筒構(gòu)成，

在該母膏劑收納筒和該子膏劑收納筒上具備施加氣壓的氣壓施加構(gòu)件，

從將該涂覆材從該母膏劑收納筒取出的取出口開始的該涂覆材的流路與分隔閥相連，從該分隔閥開始的該涂覆材的流路與該子膏劑收納筒相連，

從該子膏劑收納筒開始的該涂覆材的流路與將該涂覆材向基板排出的噴嘴相連，

再有，在該子膏劑收納筒的上部具備檢測(cè)該涂覆材的保存量的涂覆材保存量檢測(cè)構(gòu)件。

2.如權(quán)利要求1所述的膏劑涂覆頭，

其特征在于，

上述母膏劑收納筒的上述氣壓施加構(gòu)件在從上述母膏劑收納筒向上述子膏劑收納筒補(bǔ)給上述涂覆材時(shí)，使上述分隔閥打開，并向上述母膏劑收納筒內(nèi)施加氣壓，

上述子膏劑收納筒的上述氣壓施加構(gòu)件在從上述噴嘴排出上述涂覆材時(shí)，使上述分隔閥關(guān)閉，并向上述子膏劑收納筒內(nèi)施加氣壓。

3.如權(quán)利要求1或2所述的膏劑涂覆頭，其特征在于，

上述子膏劑收納筒的上述涂覆材保存量檢測(cè)構(gòu)件是接收上述涂覆材的液面上的光學(xué)的反射光，檢測(cè)上述涂覆材的保存量的傳感器。

4.如權(quán)利要求1、2或3所述的膏劑涂覆頭，其特征在于，

上述子膏劑收納筒的容積與上述母膏劑收納筒的容積相比足夠小。

5.一種膏劑涂覆裝置，所述涂覆裝置在一或多臺(tái)架臺(tái)上設(shè)置機(jī)械手，該機(jī)械手可移動(dòng)地設(shè)有具備充填了涂覆材的涂覆材收納筒和將來自該涂覆材收納筒的涂覆材料排出的噴嘴排出口的一或多個(gè)涂覆頭，該機(jī)械手相對(duì)于被搭載在該架臺(tái)上所設(shè)置的基板載置工作臺(tái)上的基板移動(dòng)，該涂覆頭相對(duì)于該機(jī)械手移動(dòng)，據(jù)此，該涂覆頭相對(duì)于該基板移動(dòng)，使該涂覆材從該噴嘴排出口向該基板上排出，其特征在于，

收納該涂覆頭的涂覆材的該涂覆材收納筒由預(yù)先收納所充填的該涂覆材的母膏劑收納筒和臨時(shí)保存該涂覆材的子膏劑收納筒構(gòu)成，

該母膏劑收納筒和該子膏劑收納筒具備施加氣壓的構(gòu)件，

從將該涂覆材從該母膏劑收納筒取出的取出口開始的該涂覆材的流路與分隔閥相連，從該分隔閥開始的該涂覆材的流路與該子膏劑收納筒相連，

從該子膏劑收納筒開始的該涂覆材的流路與將該涂覆材向基板排出的噴嘴相連，

再有，在該子膏劑收納筒的上部具備檢測(cè)該涂覆材的保存量的涂覆材保存量檢測(cè)構(gòu)件。

6.如權(quán)利要求5所述的膏劑涂覆裝置，

其特征在于，

上述母膏劑收納筒的上述氣壓施加構(gòu)件在從上述母膏劑收納筒向上述子膏劑收納筒補(bǔ)給上述涂覆材時(shí)，使上述分隔閥打開，并向上述母膏劑收納筒內(nèi)施加氣壓，

上述子膏劑收納筒的上述氣壓施加構(gòu)件在從上述噴嘴排出上述涂覆材時(shí)，使上述分隔閥關(guān)閉，并向上述子膏劑收納筒內(nèi)施加氣壓。

7.如權(quán)利要求5或6所述的膏劑涂覆裝置，其特征在于，

上述子膏劑收納筒的上述涂覆材保存量檢測(cè)構(gòu)件是接收上述涂覆材的液面上的光學(xué)的反射光，檢測(cè)上述涂覆材的保存量的傳感器。

8.如權(quán)利要求5、6或7所述的膏劑涂覆裝置，其特征在于，

上述子膏劑收納筒的容積與上述母膏劑收納筒的容積相比足夠小。

9.一種膏劑涂覆方法，所述涂覆方法在一或多臺(tái)架臺(tái)上設(shè)置機(jī)械手，該機(jī)械手可移動(dòng)地設(shè)有具備充填了涂覆材的涂覆材收納筒和將來自該涂覆材收納筒的涂覆材料排出的噴嘴排出口的一或多個(gè)涂覆頭，該機(jī)械手相對(duì)于被搭載在該架臺(tái)上所設(shè)置的基板載置工作臺(tái)上的基板移動(dòng)，該涂覆頭相對(duì)于該機(jī)械手移動(dòng)，據(jù)此，該涂覆頭相對(duì)于該基板移動(dòng)，使該涂覆材從該噴嘴排出口向該基板上排出，其特征在于，

收納該涂覆頭的涂覆材的該涂覆材收納筒由預(yù)先收納所充填的該涂覆材的母膏劑收納筒和臨時(shí)保存該涂覆材的子膏劑收納筒構(gòu)成，

該母膏劑收納筒和該子膏劑收納筒能夠施加氣壓，

從將該涂覆材從該母膏劑收納筒取出的取出口開始的該涂覆材的流路與分隔閥相連，從該分隔閥開始的該涂覆材的流路與該子膏劑收納筒相連，

從該子膏劑收納筒開始的該涂覆材的流路與將該涂覆材向基板排出的噴嘴相連，

再有，在該子膏劑收納筒的上部檢測(cè)該涂覆材的保存量，一面與該子膏劑收納筒內(nèi)的該涂覆材的減少相應(yīng)地從該母膏劑收納筒定期地補(bǔ)充該涂覆材，一面向該基板上涂覆該涂覆材。