[發明專利]一種減振平臺及基于該減振平臺的光學檢測系統

無效

• 申請號: 201210069960.4
• 申請日: 2012-03-16
• 公開（公告）號: CN102621064A
• 公開（公告）日: 2012-08-01
• 發明（設計）人: 張建輝
• 申請（專利權）人: 無錫正慈機電科技有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 葉連生

1.一種減振平臺，包括可移動臺面（2）和用于驅動可移動臺面（2）運動的驅動系統，其特征在于，還包括減振底座（5），所述的可移動臺面（2）的驅動系統設置于減振底座（5）上。

2.如權利要求1所述的減振平臺，其特征在于，所述的驅動系統包括驅動可移動臺面（2）進行橫向運動的第一驅動系統（2）和驅動可移動臺面（2）進行縱向運動的第二驅動系統（4）。

3.如權利要求2所述的減振平臺，其特征在于，所述的第一驅動系統（2）和第二驅動系統（4）通過中間系統（3）相連接。

4.如權利要求1所述的減振平臺，其特征在于，所述的減振底座（5）包括一支撐平臺（51），所述支撐平臺（51）的下方懸置至少一個下垂式抑振器（7），所述的下垂式抑振器（7）包括包裝體（71）和容納于包裝體（71）中的減振粒狀物（72），包裝體（71）通過連接體（73）與支撐平臺（51）連接。

5.如權利要求4所述的減振平臺，其特征在于，減振底座（5）的支撐平臺（51）固定設置于減振支架（6）上，所述的減振支架（6）由一組減振管狀物（600）組成，所述的減振管狀物（600）由封閉型管狀物（601）和容納在封閉型管狀物（601）內的減振顆粒（602）組成。

6.如權利要求5所述的減振平臺，所述的減振支架（6）上懸置至少一個下垂式抑振器（7），所述的下垂式抑振器（7）包括包裝體（71）和容納于包裝體（71）中的粒狀物（72），包裝體（71）通過連接體（73）與減振管狀物（600）連接。

7.如權利要求1-6任一項權利要求所述的減振平臺，其特征在于，還包括設置于減振底座（5）上的減振臂（8），所述的減振臂（8）包括垂直固定于所述減振底座（5）的第一減振部（81），以及與第一減振部（82）連接并平行于所述移動臺面（2）的第二減振部（82）。

8.如權利要求7所述的減振平臺，其特征在于，所述的第二減振部（82）頂端設置有沿垂直于移動臺面（2）方向往復運動的行走機構（10）。

9.如權利要求7所述的減振平臺，其特征在于，所述的第一減振部（81）和第二減振部（82）為中空結構，其內壁設置有第一加強筋結構（802）。

10.如權利要求5所述的減振平臺，其特征在于，所述的支撐平臺（51）呈具有厚度的中空平板狀結構，其內壁設置有第二加強筋結構（503）。

11.如權利要求2所述的減振平臺，其特征在于，所述的第一驅動系統（1）包括與移動臺面（2）相連接的至少一個振動抑制板（2010）。

12.一種包括權利要求1至11任一項權利要求所述減振平臺的光學檢測系統，其特征在于，所述的減振平臺上固定設置有光學檢測儀（1）。

13.如權利要求12所述的光學檢測系統，其特征在于，所述的光學檢測儀（1）通過行走機構（10）與減振臂（8）的第二減振部（82）連接。

14.如權利要求13所述的光學檢測系統，其特征在于，還包括用于平衡光學檢測儀（1）位置的重量平衡器（9），所述的重量平衡器（9）包括一重量平衡單元（901）和柔性索（903），柔性索（903）一端與重量平衡單元（901）連接，另一端與光學檢測儀（1）連接。