[發明專利]一種精制三氯氫硅的熱泵精餾方法

無效

• 申請號: 201210067954.5
• 申請日: 2012-03-15
• 公開（公告）號: CN102583395A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 李漢;王波;張璐璐
• 申請（專利權）人: 華陸工程科技有限責任公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 西安文盛專利代理有限公司 61100
• 代理人: 佘文英

1.一種精制三氯氫硅的熱泵精餾方法，根據氣相沉積法制造多晶硅時，從還原爐排出的氣體是三氯氫硅及四氯化硅的混合物，將從還原爐中排出的氣體冷卻后得到的氯硅烷液作為供給液輸送至精餾塔的中段，其特征是低沸點的三氯氫硅蒸汽從精餾塔(3)頂餾出，經壓縮機(1)提溫升壓后，進入換熱器(2)冷卻至飽和氣體，此氣體熱源用于加熱塔釜再沸器(4)中的混合液，在再沸器(4)換熱后的冷凝液一部分回流到精餾塔(3)頂部，剩余部分作為下游工段多晶硅的制造原料，四氯化硅則作為釜液從精餾塔(3)底部排出，完成一個精餾塔自循環開式熱泵循環，熱泵循環工質和再沸器(4)加熱介質均為塔頂物料。

2.如權利要求1所述的精制三氯氫硅的熱泵精餾方法，其特征是塔壓控制在0.1～1barg之間，塔頂氯硅烷蒸汽壓縮至5～10barg，用于提供充足熱量，滿足塔釜液汽化要求。