[發明專利]基板固定裝置

有效

• 申請號: 201210067725.3
• 申請日: 2012-03-12
• 公開（公告）號: CN102586752A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 辛忠興;王培坤
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/34
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;李巖

技術領域

本發明是有關于一種基板固定裝置，且特別是有關于一種濺鍍機臺中的基板固定裝置。

背景技術

請參見圖1A～圖1D，其為一傳統濺鍍機臺中的基板固定裝置，濺鍍機臺廣泛應用于各類成模制程中，例如，薄膜晶體管與金氧半晶體管等元件的制程中。圖1A表示出基板固定裝置的上視示意圖，其中包含有一承載座91，用以承載該基板90，該承載座91中具有多個透孔910及凹槽99。至于圖1B則表示出基板固定裝置的側面示意圖，該承載座91中的多個透孔910用以讓第一固定結構92的多個插件922穿過該等透孔910，而襯墊923分別設置于該等插件922的端點，至于彈簧924套合于插件922上，該等彈簧一端固接該插件922，另一端接觸至該承載座91。當該等插件922因移動平臺921下移，便可使得套合于插件922上的彈簧924的回復力而將該等襯墊923沿基板90的法線方向向下移動，進而形成如圖1C所示的狀態，用以提供下壓力來將基板90抵頂至該承載座91而完成固定。

而為能提供襯墊923的容置空間，習知承載座91上具有凹槽99來讓襯墊923嵌入。但因進入濺鍍工作狀態時，承載座91將如圖1d的所示，由水平狀態轉成直立狀態，用以靠近濺鍍靶材98以及掩膜97，因此，于制程中產生的碎片很可能掉入位于直立狀態的承載座91下端的凹槽99中，而堆積凹槽99中的碎片容易造成后續基板90的固定過程中被夾碎而發生連續破片的異常。有鑒于此，如何進一步改善習用裝置所造成的缺失，為發展本案的主要目的。

發明內容

發明所要解決的技術問題在于提供一種基板固定裝置，應用于基板的運送過程，該基板固定裝置包含：承載座，用以承載該基板，該承載座中具有多個透孔；第一固定結構，穿過該等透孔并沿該基板的法線方向移動，其移動而提供朝向該基板法線方向的下壓力時將該基板抵頂至該承載座；第二固定結構，設置于該承載座的第一側并透過拉力元件與該承載座連接；以及滑動軸承結構，分別固定于該承載座與該第二固定結構，其因應該第一固定結構的第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑入而將該第二固定結構推離，以釋放該基板，并因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑出而透過該拉力元件將該第二固定結構拉近，以固定該基板。

根據上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該基板可為玻璃基板、透光基板或半導體基板。

根據上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該承載座面積可大于該基板而具有外環部，該外環部中具有該等透孔。

根據上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該第一固定結構包含：移動平臺，其具有第一凸出部及第二凸出部并可沿該基板法線方向進行往復移動；多個插件，接觸至移動平臺的第二凸出部并穿過該等透孔；多個彈簧，套合該等插件；以及多個襯墊，分別設置于該等插件的端點，用以于該等插件因應該等彈簧的回復力而沿基板的法線方向移動時，來將基板抵頂至承載座。

根據上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中第二凸出部沿基板法線方向向上移動時，壓縮該等彈簧而使該等插件沿基板的法線方向向上移動而使該等襯墊向上移動。

根據上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該第二固定結構包含：接觸部，設置于該承載座的該第一側，用以抵頂該基板而將該基板固定至該承載座；以及支架部，透過該拉力元件與該承載座連接并分別連接至該接觸部與該滑動軸承結構，用以將該滑動軸承結構的移動傳遞至該接觸部。

根據上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該接觸部包含：接觸部主體，連接至該支架部；以及緩沖座，連接至該接觸部主體，用以抵頂該基板。

根據上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該緩沖座由一塑料材料來完成。

根據上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該滑動軸承結構包含：第一球狀軸承，固定于該承載座；以及第二球狀軸承，固定于該第二固定結構，其因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑入該等球狀軸承之間而將該第二固定結構推離該基板，并因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑出該等球狀軸承之間，而通過該拉力元件將該第二固定結構拉近該基板。

根據上述構想，本案所述的基板固定裝置，其中該滑動軸承結構包含：第一圓柱狀軸承，固定于該承載座；以及第二圓柱狀軸承，固定于該第二固定結構，其因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑入該等圓柱狀軸承之間而將該第二固定結構推離該承載座與該基板，并因應該第一凸出部沿該基板法線方向移動的滑出該等圓柱狀軸承之間，而透過該拉力元件將該第二固定結構拉近該承載座以抵頂該基板。