[發明專利]旋轉陰極機構

無效

• 申請號: 201210067554.4
• 申請日: 2012-03-14
• 公開（公告）號: CN102560386A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 朱殿榮;曹俊
• 申請（專利權）人: 無錫康力電子有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 夏平

1.一種旋轉陰極機構，其特征是它包括靶旋轉機構（4）、靶支架（3）、冷卻水管（8）和依次安裝在冷卻水管（8）外側的極靴（7）、多個條形磁鐵（6）、靶材（5），上述套管的一側裝有一端蓋（9），另一端安裝靶旋轉機構（4）和靶支架（3），所述的條形磁鐵（6）和靶材（5）之間套裝不銹鋼管。

2.根據權利要求1所述的旋轉陰極機構，其特征是所述的極靴（7）的外側設有多個定位槽，相應的多個條形磁鐵（6）分別安裝在極靴（7）的定位槽內。

3.根據權利要求2所述的旋轉陰極機構，其特征是所述的條形磁鐵（6）的組合方式是每路條形磁鐵的朝向相同，按S-N-S-N排布在不銹鋼管內。

4.根據權利要求2所述的旋轉陰極機構，其特征是所述的條形磁鐵（6）為四個，均勻分布在極靴（7）外壁的定位槽內。

5.根據權利要求1所述的旋轉陰極機構，其特征是所述的冷卻水管（8）的一端為冷卻水進口（1），另一端為冷卻水出口（2）。