[發(fā)明專利]平面移動靶機構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210067553.X
• 申請日: 2012-03-14
• 公開（公告）號: CN102586750A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱殿榮;曹俊
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫康力電子有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 夏平

1.一種平面移動靶機構(gòu)，其特征是它包括框架（1）、往返傳動機構(gòu)（2）、兩直線導軌機構(gòu)（3）、極靴（4）、永磁鐵（5）和位于真空箱體（9）內(nèi)的陰極（6）和靶材（8），所述的往返傳動機構(gòu)（2）安裝在框架（1）的中部，兩直線導軌機構(gòu)（3）分別安裝在框架（1）的上下部分，兩直線導軌機構(gòu)（3）上分別裝有至少一個滑塊（10），極靴（4）安裝在往返傳動機構(gòu)（2）的中部，極靴（4）的上、下兩端分別固定在兩直線導軌機構(gòu)（3）的滑塊（10）上，永磁鐵（5）安裝在極靴（4）上，在永磁鐵（5）上方的真空箱體（9）底部安裝陰極（6），靶材（8）安裝在陰極（6）的上方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面移動靶機構(gòu)，其特征是所述的陰極（6）為銅背板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面移動靶機構(gòu)，其特征是所述的陰極（6）的內(nèi)部裝有冷卻水管（7）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面移動靶機構(gòu)，其特征是所述的滑塊（10）為四個，、兩直線導軌機構(gòu)（3）上分別安裝兩個滑塊（10），極靴（4）的四角分別固定在四個滑塊（10）上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面移動靶機構(gòu)，其特征是所述的永磁鐵（5）為三根，均為排布在極靴（4）上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面移動靶機構(gòu)，其特征是所述的往返傳動機構(gòu)（2）包括伺服電機（11）和滾珠絲杠（12），由伺服電機（11）帶動固定在滾珠絲杠（12）上的極靴（4）作勻速往返運動。