[發明專利]一種可變角度反射測量裝置及其操作方法

有效

• 申請號: 201210067482.3
• 申請日: 2012-03-14
• 公開（公告）號: CN102589698A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 汪力;馮輝;潘學聰
• 申請（專利權）人: 中國科學院物理研究所
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28;G02B26/08
• 代理公司: 北京泛華偉業知識產權代理有限公司 11280
• 代理人: 王勇

1.一種可變角度反射測量裝置，包括：

分別獨立控制的第一旋轉臺和第二旋轉臺，這兩個旋轉臺的轉軸重合；

第一旋轉臺上的樣品支架，用于固定樣品，使樣品的反射面垂直于第一旋轉臺；

第一反射鏡，位于樣品支架的與第一旋轉臺相反的一側，該第一反射鏡的反射面和樣品的反射面垂直，且其反射面和樣品的反射面的交線與第一旋轉臺和第二旋轉臺的轉軸重合；

固定到第二旋轉臺上的第二反射鏡，用于反射從樣品發出的第一光束，并將該第一光束垂直于第二旋轉臺出射，形成第二光束，且該第二光束的出射方向與第二反射鏡位于第二旋轉臺的同側；

第三反射鏡，用于將從第二反射鏡出射的第二光束反射到第一反射鏡上。

2.根據權利要求1所述的裝置，包括位于第二旋轉臺上的懸臂，第二反射鏡位于該懸臂上。

3.根據權利要求1或2所述的裝置，其中所述第二反射鏡為離軸拋物面鏡。

4.根據權利要求1或2所述的裝置，其中所述第二反射鏡為平面反射鏡。

5.根據權利要求3所述的裝置，其中所述離軸拋物面鏡的焦點與聚焦到樣品表面的會聚光束的焦點重合。

6.根據權利要求1所述的裝置，還包括可翻轉反射鏡，其位于測量光路中，從第一反射鏡出射的光被多個反射鏡反射后入射到所述可翻轉反射鏡上。

7.根據權利要求6所述的裝置，其中在反射測量模式中，可翻轉反射鏡的角度使入射到可翻轉反射鏡上的光反射進入測量光路，同時阻擋從樣品透射的透射光進入測量光路。

8.根據權利要求6所述的裝置，其中在透射測量模式中，可翻轉反射鏡的反射面平行于測量光路，使從樣品透射的透射光進入測量光路。

9.如權利要求1至5中任一項所述的裝置的操作方法，包括：

旋轉第一旋轉臺，使入射到樣品上的光束與樣品反射表面之間所呈的入射角為θ；

使第二旋轉臺向同一旋轉方向旋轉2θ角，使第二反射鏡反射從樣品反射的光。

10.如權利要求7或8所述的裝置的操作方法，當反射測量模式時，翻轉可翻轉反射鏡，使入射到可翻轉反射鏡上的光反射進入測量光路，同時阻擋從樣品透射的透射光進入測量光路，當透射測量模式時，翻轉可翻轉反射鏡，使翻轉反射鏡的反射面平行于測量光路，使從樣品透射的透射光進入測量光路。