[發(fā)明專利]膜厚不均檢查裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210067026.9
• 申請日: 2012-03-14
• 公開（公告）號: CN102967266A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 和田浩光;田嶋久容;小山恭史;濱川直良;水原正志
• 申請（專利權(quán)）人: 東麗工程株式會社
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 章蕾

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用以在彩色濾光片的制造步驟等之中，檢查形成在玻璃或透光性樹脂材料等的襯底上的彩色皮膜的厚度不均(所謂的膜厚不均)的裝置及方法。

背景技術(shù)

以往已知有如下情況：在用于平板顯示器的彩色濾光片的制造步驟等之中，由于顏料分散不均一、或因成分凝聚、成膜時振動的影響而產(chǎn)生的膜厚不均，導(dǎo)致色彩不均。為防止發(fā)生在產(chǎn)生所述膜厚不均的狀態(tài)下繼續(xù)制造作業(yè)的不良情況，而使用相機與透射照明，檢查有無色彩不均及程度等(例如，專利文獻1)。

進而，記載有如下技術(shù)：使用相機與反射照明，即便形成在襯底表面的層發(fā)生各種變化，也能與之對應(yīng)地清晰地拍攝所產(chǎn)生的不均(例如，專利文獻2)。

[先行技術(shù)文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2006-234470號公報

專利文獻2：日本專利特開2007-309718號公報

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問題]

各種色彩不均是因紅色、藍色、綠色等成膜中任一成膜的一部分包含膜厚不均一的部分(即，膜厚不均)而產(chǎn)生。所述各色成膜的膜厚不均檢查是將作為檢查對象的襯底與攝像部的角度變更，并根據(jù)該角度及檢查對象，變更照明的種類、角度或位置而進行，但在膜厚不均難以檢測時，若皮膜整體的膜厚(即，不存在膜厚不均的部分的膜厚，所謂的代表膜厚)不同，則有時無法充分獲得膜厚不均的對比度。因此，在多次檢查經(jīng)成膜的皮膜的代表膜厚不同的襯底時，即便在相同攝像條件下檢查各個襯底，有時也難以獲得準(zhǔn)確的檢查結(jié)果。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種對于代表膜厚不同的同一品種的襯底，可基于共通的檢查條件，根據(jù)代表膜厚的差異，獲取明亮度及對比度適合檢查的圖像，從而獲得準(zhǔn)確檢查結(jié)果的膜厚不均檢查裝置及方法。

[解決問題的手段]

為解決所述問題，技術(shù)方案1的發(fā)明是一種膜厚不均檢查裝置，其特征在于包括：

襯底移動部，保持著表面形成有皮膜的襯底使之移動；

光源部，對所述襯底照射光；

攝像部，對所述襯底的形成有皮膜的面的至少一部分進行攝像；及

檢查部，基于由所述攝像部拍攝的圖像，檢查所述皮膜的厚度不均；且

一面使所述襯底在一方向上移動，一面檢查形成在所述襯底的皮膜的厚度不均，

該膜厚不均檢查裝置包含：

檢查條件登記部，對與檢查對象品種對應(yīng)的檢查條件進行設(shè)定登記；及

代表膜厚檢測部，檢測形成在所述襯底的皮膜的代表膜厚；

所述光源部具備：

反射照明部，配置在所述攝像部側(cè)，且對所述襯底照射光；及

透射照明部，配置在隔著所述襯底而和所述攝像部對向的位置，且對所述襯底照射光；

在所述攝像部中，包含調(diào)節(jié)所述攝像部和所述襯底的相對角度的攝像角度調(diào)整部，

在所述反射照明部中，包含調(diào)節(jié)所述反射照明部和所述襯底的相對角度的反射照明角度調(diào)整部，

在所述透射照明部中，包含調(diào)節(jié)所述透射照明部和所述襯底的相對角度的透射照明角度調(diào)整部，

該膜厚不均檢查裝置包括控制部，該控制部可基于登記在所述檢查條件登記部的檢查條件、與來自所述代表膜厚檢測部的代表膜厚信息，控制所述攝像部角度調(diào)整部、所述反射照明角度調(diào)節(jié)部、及所述透射照明角度調(diào)整部，調(diào)節(jié)所述反射照明的光量及所述透射照明的光量。

技術(shù)方案5的發(fā)明是一種膜厚不均檢查方法，其特征在于包括：

襯底移動步驟，保持著表面形成有皮膜的襯底使之移動；

攝像步驟，自光源部對所述襯底照射光，拍攝所述襯底的形成有皮膜的面的至少一部分；及

檢查步驟，基于由所述攝像部拍攝的圖像，檢查所述皮膜的厚度不均；且

一面使所述襯底在一方向上移動，一面檢查形成在所述襯底的皮膜的厚度不均，且

該膜厚不均檢查方法包括：

檢查條件登記步驟，對與檢查對象品種對應(yīng)的檢查條件進行設(shè)定登記；及

代表膜厚檢測步驟，檢測形成在所述襯底的皮膜的代表膜厚；

所述光源部構(gòu)成為包括：

反射照明部，配置在所述攝像部側(cè)，且對所述襯底照射光；及

透射照明部，配置在隔著所述襯底而和所述攝像部對向的位置，且對所述襯底照射光；

所述攝像步驟是基于登記在所述檢查條件登記部的檢查條件、和所述代表膜厚檢測步驟中檢測出的代表膜厚信息，包括

調(diào)節(jié)所述攝像部和所述襯底的相對角度的攝像部角度調(diào)整步驟、