[發(fā)明專利]一種預(yù)防Cascade探針臺顯微鏡撞針的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201210066516.7 | 申請日： | 2012-03-14 |
| 公開（公告）號： | CN102637340A | 公開（公告）日： | 2012-08-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙敏;尹彬鋒;李瀚超 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G08B21/00 | 分類號： | G08B21/00 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 預(yù)防 cascade 探針 顯微鏡 撞針 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種預(yù)防Cascade探針臺顯微鏡撞針的方法，其特征在于，在Cascade探針臺靠近探針的橫梁上設(shè)置傳感器，以在顯微鏡鏡筒過度靠近時發(fā)出警告。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的預(yù)防Cascade探針臺顯微鏡撞針的方法，其特征在于，一警告裝置與所述傳感器通訊連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的預(yù)防Cascade探針臺顯微鏡撞針的方法，其特征在于，所述警告裝置通過發(fā)出聲音或信號燈進行警告。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的預(yù)防Cascade探針臺顯微鏡撞針的方法，其特征在于，所述傳感器為距離傳感器。
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