[發明專利]螺栓的防松裝置及其安裝方法以及安裝夾具

有效

• 申請號: 201210065635.0
• 申請日: 2012-03-09
• 公開（公告）號: CN102678725A
• 公開（公告）日: 2012-09-19
• 發明（設計）人: 網倉紀彥;加賀爪哲;佐藤雅彥;內藤幸男;武藤聰史;中田知宏;筱原努;山路道雄
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社;株式會社富士金
• 主分類號: F16B39/10
• 分類號: F16B39/10;B25B11/02
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉

1.一種螺栓的防松裝置，是使用多根螺栓將被固定部件進行固定后的螺栓的防松裝置，其特征在于，具有：分別以不能相對旋轉的方式嵌合在多根螺栓的各頭部上的多個嵌合部件；橫跨多個嵌合部件地安裝且與各嵌合部件卡合的卡合部件。

2.如權利要求1所述的螺栓的防松裝置，其特征在于：各嵌合部件的外周面呈非圓形，在卡合部件上設有與各嵌合部件的非圓形外周面的至少一部分卡合從而防止其移動的卡合部。

3.如權利要求2所述的螺栓的防松裝置，其特征在于：卡合部件具有：從一側與多個嵌合部件的外周面相對的第一相對壁部；從另一側與多個嵌合部件的外周面相對的第二相對壁部；將兩相對壁部連結的連結壁部。

4.如權利要求3所述的螺栓的防松裝置，其特征在于：卡合部件的各卡合部為具有與各嵌合部件的非圓形外周面對應的非圓形內周面且設在連結壁部上的卡合孔。

5.如權利要求3所述的螺栓的防松裝置，其特征在于：卡合部件的連結壁部具有通過嵌合在相鄰的嵌合部件之間而與第一相對壁部以及第二相對壁部一起形成卡合部的突出部。

6.如權利要求1～5任一項所述的螺栓的防松裝置，其特征在于：各螺栓為在頭部周面上形成有平紋的滾花的帶六角孔螺栓，各帶六角孔螺栓使其頭部從被固定部件突出，并貫穿被固定部件，外周面形狀為方形且在內周面上形成有滾花的嵌合部件分別被嵌合在從被固定部件露出的各帶六角孔螺栓的頭部上，橫跨多個嵌合部件而被嵌合的卡合部件受到被固定部件止擋。

7.一種螺栓的防松裝置的安裝方法，是安裝權利要求1到6任一項的螺栓的防松裝置的方法，其特征在于：在使用具有保持嵌合部件的外周面的保持部以及與嵌合部件抵接從而相對于保持部能夠移動的推壓部的第一安裝夾具，而將嵌合部件保持在第一安裝夾具的保持部上的狀態下，將嵌合部件安裝在螺栓上，然后，使第一安裝夾具的推壓部移動，由此，將嵌合部件從第一安裝夾具的保持部拆下。

8.一種螺栓的防松裝置的安裝方法，是安裝權利要求1的螺栓的防松裝置的方法，其特征在于：預先在卡合部件上設置螺紋孔，使用具有與該螺紋孔螺合的外螺紋部的第二安裝夾具，將卡合部件螺合在第二安裝夾具上，在該狀態下，將第二安裝夾具以橫跨的方式向多個嵌合部件推壓，由此將卡合部件安裝在多個嵌合部件上。

9.一種第一安裝夾具，是權利要求7的螺栓的防松裝置的安裝方法中使用的第一安裝夾具，其特征在于，具有：中空軸，在該中空軸的前端一體地設有保持嵌合部件的外周面的保持部；握持部，該握持部設在中空軸的基端部；內軸，在該內軸的前端一體地設有與嵌合部件抵接的推壓部，該內軸以能夠軸向移動的方式插入到中空軸內且基端部從中空軸突出。

10.一種第二安裝夾具，是權利要求8的螺栓的防松裝置的安裝方法中使用的第二安裝夾具，其特征在于，具有：軸體，在該軸體的前端具有與設在卡合部件上的螺紋孔螺合的外螺紋部；加強板，該加強板與卡合部件抵接，軸體以能夠相對旋轉的方式安裝在加強板上。

11.一種第二安裝夾具，是權利要求8的螺栓的防松裝置的安裝方法中使用的第二安裝夾具，其特征在于，包括帶加強板的軸體以及以能夠裝拆的方式安裝在其上的輔助軸體，帶加強板的軸體具有：主軸體，該主軸體在前端具有與設在卡合部件的一端部上的螺紋孔螺合的外螺紋部；加強板，該加強板與卡合部件抵接，主軸體以能夠相對旋轉的方式安裝在加強板上，在加強板上，在一端部上設有供主軸體貫穿的貫穿孔，在另一端部上設有螺紋孔，輔助軸體在前端具有與加強板的螺紋孔螺合的外螺紋部。

12.一種流體控制裝置，具有：流體控制儀器，其具有作為多個上層部件的通路塊；塊狀接頭，其作為多個下層部件，該流體控制裝置是使用螺栓將通路塊固定在下層部件上的結構，其特征在于：作為用于進行所述螺栓的防松的螺栓的防松裝置，具有權利要求1到6的任一項的螺栓的防松裝置。

13.一種基板處理裝置，具有：收容被處理基板的處理容器；向所述處理容器內供給處理氣體的處理氣體供給部，其特征在于：作為設在所述處理氣體供給部內的流體控制裝置，具有權利要求12的流體控制裝置。