[發(fā)明專利]一種多磁場的磁控濺射陰極

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201210065265.0
• 申請日: 2012-03-12
• 公開（公告）號: CN102586749A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發(fā)明（設計）人: 王正安
• 申請（專利權）人: 王正安
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多磁場的磁控濺射陰極，由陰極底板、同軸電纜、絕緣體、軛鐵、磁鐵矩陣、陰極主體、冷卻單元、靶材和陽極罩組成其特征在于：絕緣體通過不銹鋼螺絲固定于底板上；所述的磁鐵矩陣和粘合在一起的軛鐵組成磁場單元，并使用黃銅螺絲將其固定于陰極主體的后端；所述陰極主體前端開有進水槽和出水槽，組成冷卻單元；陰極主體的后端同時又與絕緣體固定；所述的陽極置直接固定于陰極底板上；所述的同軸電纜則直接和陰極主體相連接，靶材則置于陰極主體前端。

2.根據(jù)權利要求1所述的多磁場磁控濺射陰極，其特征在于：所述的陰極底板采用高質量的316不銹鋼材料加工而成，對整個陰極起一個支撐作用。

3.根據(jù)權利要求1所述的多磁場磁控濺射陰極，其特征在于：所述的同軸電纜采用RG393型電纜線，該電纜采用7/0.79標準鍍銀銅作為內導體；7.21mm聚四氟乙烯作為絕緣體；8.71mm雙層鍍銀銅網(wǎng)作為外導體；9.91mm?FEP作為外絕緣層。

4.根據(jù)權利要求1所述的多磁場磁控濺射陰極，其特征在于：所述的絕緣體使用厚度為70mm的聚四氟乙烯材料經加工而成。

5.根據(jù)權利要求1所述的多磁場磁控濺射陰極，其特征在于：所述的軛鐵材料為高質量的工業(yè)軟鐵DT4板材，根據(jù)磁場的設計要求，在其表面銑出高度不一的凸臺作為磁鐵的基礎，達到高節(jié)磁場的目的。

6.根據(jù)權利要求1所述的多磁場磁控濺射陰極，其特征在于：所述的磁鐵矩陣由若干塊磁鐵排列組合而成。

7.根據(jù)權利要求1所述的多磁場磁控濺射陰極，具特征在于：所述的陰極主體使用高質量的真空無氧銅加工而成。該材料純度為99.97％，氧含量小于等于0.003％，雜質總含量小于等于0.03％。

8.根據(jù)權利要求1所述的多磁場磁控濺射陰極，其特征在于：所述的冷卻單元由開在陰極主體前端的進水槽和出水槽組成。

9.根據(jù)權利要求1所述的多磁場磁控濺射陰極，其特征在于：所述的陽極罩使用高質量的硬質鋁材加工而成。

10.根據(jù)權利要求6所述的多磁場磁控濺射陰極，其特征在于：所述的磁鐵則由釹鐵硼金屬間化合物組成，其主要成分是Nd₂Fe₁₄B。使用粉末冶金法成型并在特定方向上充磁至飽和。