[發明專利]一種基于空氣靜壓軸承技術的大范圍調傾調心工作臺

有效

• 申請號: 201210065215.2
• 申請日: 2012-01-13
• 公開（公告）號: CN102607628A
• 公開（公告）日: 2012-07-25
• 發明（設計）人: 趙維謙;侯茂盛;邱麗榮;王帆
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: G01D11/00
• 分類號: G01D11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于空氣靜壓軸承技術的大范圍高精度調傾調心裝置，其特征在于：包括調傾平臺(2)、調傾平臺座(4)、調心平臺(5)、X向微位移發生器(6)、Y向微位移發生器(3)、Z向微位移發生器(9)、X向導向裝置(16)、Y向導向裝置(17)、若干個回復彈簧(18)；其連接關系為：將調傾平臺座(4)放置在調心平臺(5)上，未接通低壓空氣時二者緊密貼合；調傾平臺座(4)上放置調傾平臺(2)，調傾平臺(2)的下表面與調傾平臺座(4)的上表面為截面形狀互補的表面，未接通低壓空氣時二者緊密貼合；X向微位移發生器(6)、Y向微位移發生器(3)和三個Z向微位移發生器(9)，分別放置在工作臺周圍，用于工作臺傾斜和偏心的調整，其中X向微位移發生器(6)沿X向作用于調心平臺(5)；Y向微位移發生器(3)沿Y向作用于調傾平臺座(4)；當調傾平臺(2)繞X軸、Y軸做滾轉或俯仰時，保證在坐標系的X軸或Y軸上安裝一個Z向微位移發生器(9)，再在X軸或Y軸兩側對稱安裝兩個Z向微位移發生器(9)，三個Z向微位移發生器(9)共同作用于調傾平臺(2)；X向導向裝置(16)安放于調心平臺(5)沿X向的兩側，用于限定調心平臺(5)沿X方向的運動；Y向導向裝置(17)安放于調傾平臺座(4)沿Y向的兩側，用于限定調心平臺(5)沿Y方向的運動；置于X向微位移發生器(6)的對徑位置的回復彈簧，是用于提供X方向偏心調整的回復力；置于Y向微位移發生器(3)的對徑位置的回復彈簧，是用于提供Y方向偏心調整的回復力；置于三個Z向微位移發生器(9)附近的回復彈簧，是用于提供調傾回復力，限定調整范圍，防止傾覆側翻，保證調傾平臺(2)與調傾平臺座(4)之間相對位置的穩定。

2.如權利要求1所述的一種基于空氣靜壓軸承技術的大范圍調傾調心工作臺，其特征在于：所述調傾平臺座(4)包括調傾氣膜供氣孔(13)和內部氣路；在調傾平臺座(4)的上表面周圍設置若干調傾氣膜供氣孔(13)，調傾氣膜供氣孔(13)通過內部氣路與調傾平臺座供氣管(11)相連通。

3.如權利要求1所述的一種基于空氣靜壓軸承技術的大范圍調傾調心工作臺，其特征在于：所述調心平臺(5)包括Y向調心氣膜供氣孔(14)、X向調心氣膜供氣孔(15)、內部氣路，Y向調心氣膜供氣孔(14)與X向調心氣膜供氣孔(15)分別安置在內部氣路兩側，并通過內部氣路與調心平臺供氣管(12)相連通。

4.如權利要求1所述的一種基于空氣靜壓軸承技術的大范圍調傾調心工作臺，其特征在于：調心平臺(5)邊緣突起，高度不高于調傾平臺座(4)。

5.如權利要求1所述的一種基于空氣靜壓軸承技術的大范圍調傾調心工作臺，其特征在于：調傾平臺座(4)上表面的形狀優選為半球面或半圓柱面等。

6.如權利要求1所述的一種基于空氣靜壓軸承技術的大范圍調傾調心工作臺，其特征在于：當工作時，低壓空氣接通，所述的調傾平臺(2)的下表面與調傾平臺座(4)的上表面之間形成調傾氣膜(10)。

7.如權利要求1所述的一種基于空氣靜壓軸承技術的大范圍調傾調心工作臺，其特征在于：當工作時，低壓空氣接通，所述的調心平臺(5)與回轉工作臺之間形成X向調心氣膜(7)。

8.如權利要求1所述的一種基于空氣靜壓軸承技術的大范圍調傾調心工作臺，其特征在于：當工作時，低壓空氣接通，所述的調傾平臺(2)與調傾平臺座(4)之間形成Y向調心氣膜(8)。