[發明專利]一種可以選擇不同顯影段長度的顯影機

無效

• 申請號: 201210065005.3
• 申請日: 2012-01-13
• 公開（公告）號: CN103207541A
• 公開（公告）日: 2013-07-17
• 發明（設計）人: 魏志凌;高小平;劉學明
• 申請（專利權）人: 昆山允升吉光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

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技術領域

本發明屬于印刷掩模板的顯影技術領域，尤其涉及一種可以選擇不同顯影段長度的顯影機。

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背景技術

隨著SMT行業的快速發展，行業對應用于SMT行業的印刷掩膜板的要求也越來越高，印刷掩膜板一般要求有較好的耐化學性、機械性，并要求其具有很高的邊緣清晰度及解像力。其中，印刷掩膜板的高邊緣清晰度及解像力是目前業界的一個瓶頸，很難再進一步提高。

在電鑄或蝕刻制作印刷掩模板的過程中，需要用到顯影機，顯影機主要是結合曝光機實現圖像的轉移。在對曝光后的干膜進行顯影時，通常會遇到過顯影和顯影不足的問題，過顯影和顯影不足都不能得到開口尺寸合格的產品，所以顯影點的控制尤為重要。在顯影液濃度、噴淋壓力、pH等工藝條件穩定的情況下，一般都是通過調節顯影機傳送速度來獲得所需要的顯影點。在生產中，不同的產品所應用的干膜厚度不同，獲取相同的顯影點所選擇的傳送速度相差很大，在普通的固定顯影室長度下，如果速度太快，則一方面可能超出顯影機的速度范圍；另一方面，外貼膜芯膜在經過水洗段時容易洗不干凈，板面剩有殘膜。而如果速度太慢，則經過水洗段時間太長，未曝光完全的干膜底部過度沖刷，影響圖形尺寸精度。

印刷掩膜板制造過程中，顯影的參數（如：顯影液濃度、噴淋壓力、pH等工藝條件）經常需要變換，但如果需要得到很好的產品，顯影參數最好固定在一定范圍內，這就需要調節顯影機的傳送速度來控制顯影點，不同厚度的干膜對顯影機的傳輸速度要求區別比較大，這容易在顯影時造成不良效果。所以有必要對顯影機進行研究，提供一種方案，以解決上述現有技術中存在的缺陷。

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發明內容

為解決上述問題，本發明的目的在于提供一種可以選擇不同顯影段長度的顯影機，其可以根據不同干膜厚度選擇不同長度的顯影段，控制顯影傳送的速度，顯影及水洗的時間。

為實現上述目的，本發明的技術方案為：

一種可以選擇不同顯影段長度的顯影機，包括顯影段、噴淋管以及承載芯膜并帶動芯膜前進的滾輪，其中，所述顯影段被分隔為至少兩段，每段的顯影長度相互獨立；工作時，多段可以同時開啟，也可以根據干膜厚度選擇開啟不同顯影段。

進一步地，所述顯影段分隔為兩段，即顯影一段和顯影二段。

進一步地，所述顯影一段和顯影二段由一隔板隔開。

進一步地，所述顯影一段有效長度為2米，顯影二段有效長度為1米。

進一步地，根據貼膜厚度進行選擇顯影段的長度，干膜厚度大于100μm，將顯影一段、顯影二段兩段都打開，如果厚度在50～100μm，則選擇打開顯影一段，厚度小于50則選擇打開顯影二段。

進一步地，所述顯影機連接有外部電腦，通過于電腦上設置軟件來控制顯影傳送速度，使得顯影機可以無級變速。

本發明可以根據不同干膜厚度選擇不同長度的顯影段，控制顯影傳送的速度，顯影及水洗的時間。尤其薄干膜（小于50um）顯影時，選擇開啟其中一段，不需要對顯影壓力、濃度等參數進行調整，只需在一定范圍內調整傳送速度，顯影速度不會超過設備允許的最大速度，不同干膜都能得到很好的顯影效果。

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附圖說明

圖1是本發明實施例顯影段為兩段式設計的示意圖。

具體實施方式

為了使本發明的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本發明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發明，并不用于限定本發明。

本發明將顯影機顯影段設計成多段，每段的顯影長度相互獨立，工作時，多段可以同時開啟，也可以根據需求選擇開啟其中幾段，可以在對曝光后干膜進行顯影時，根據干膜厚度選擇開啟不同顯影段，并且可以在合理范圍內調整顯影參數。